[发明专利]石英退火炉

说明书

本发明实施例公开一种石英退火炉，包括炉体和台车，台车上端面安装轨道，炉体的下端放置在轨道上，炉体内部设置有内轨道，炉体的下端为承棉台，台车上安装保温棉，炉体安装保温棉，炉体内安装热电偶和若干个硅碳棒，退火炉的炉体顶部布置母线排，连接各个硅碳棒，硅碳棒与可控硅整流器连接，炉体的炉门位于炉体的端面，炉门上安装保温棉，本发明实施例温度偏差小，降温幅度小，能耗低，对石英设备纯度没有影响，操作方便，安全性更好，使用寿命长。

技术领域

本发明涉及石英技术领域，具体是一种石英退火炉。

背景技术

石英设备由于其特性限制，加工好的石英设备都需要进行退火处理。以往的石英退火炉都采用天然气加热，用耐火砖砌筑燃烧室，天然气燃烧产生的热量穿过砖墙到达退火炉炉膛，整个过程热量损失大，温度难以实现精准控制，耐火砖内的杂质在高温下析出，降低石英纯度。

现有技术存在以下缺点：

(1)加热温度不均匀，主要原因是燃烧室纵向温差大导致退火炉内温度不均匀。

(2)温度控制不精准，主要原因是不能精准控制天然气流量，温差普遍在50℃以上。

(3)能源消耗量大，主要原因是废气排出时带走了大量的热量。

(4)容易导致杂质进入石英设备，主要原因是耐火砖内含有较多杂质，这些杂质在高温下会析出，进入石英设备内。

(5)安全隐患大，主要原因是容易导致火灾、爆炸事故。

(6)退火炉体积大但有效空间小，主要原因是燃烧室占用了大量空间。

(7)砖砌炉墙遇到较强震动是容易垮塌损坏石英设备，而且耐火砖长期使用后表面会剥蚀，脱落的砖块也会损坏石英设备。

(8)不易把炉膛做的过大，主要原因是受其加热系统的影响，做的越大加热就越不均匀。

发明内容

为解决现有石英退火设备的缺点，本发明实施例提供一种石英退火炉。

为达此目的，本发明实施例提供如下的技术方案：

石英退火炉，包括炉体和台车，台车上端面安装轨道，炉体的下端放置在轨道上，炉体内部设置有内轨道，炉体的下端为承棉台，台车上安装保温棉，炉体安装保温棉，炉体内安装热电偶和若干个硅碳棒，退火炉的炉体顶部布置母线排，连接各个硅碳棒，硅碳棒与可控硅整流器连接，炉体的炉门位于炉体的端面，炉门上安装保温棉。

进一步的，炉体的框架为10#槽钢，炉体的外端的蒙皮为3mm厚的钢板。

进一步的，轨道型号为15kg/米。

进一步的，台车包括上部和下部，台车的下部为3组车轮，3组车轮的上方安装车轮架，车轮的上方安装上部，车轮的上方安装3mm厚的钢板，台车的上部安装保温棉。

进一步的，台车的上部高度为400mm,台车从下往上100mm高用600×900mm陶瓷纤维板材经分割加工后砌筑；300mm高的上部用600×400mm陶瓷纤维板材经分割加工后砌筑，台车的上部的顶面再用玻璃纤维软棉铺一层。

进一步的，陶瓷纤维板材与台车之间，板材与板材之间均用水玻璃粘接。

进一步的，炉体保温棉采用600mm*900mm*50mm的陶瓷纤维板和玻璃纤维板，炉体的保温棉分层压实，每隔200-250mm厚压一次，压板为400×200×10mm的钢板。

进一步的，炉门采用10#槽钢制作框架，外蒙3mm钢板，里面砌陶瓷纤维板。