[发明专利]在薄膜封装体上形成触摸屏板的方法

说明书

本发明涉及在利用原子层沉积工序来形成的薄膜封装体上形成触摸屏板，从而在阻隔特性优秀且后续工序中产生少量不良的薄膜封装体上形成触摸屏板的方法。

技术领域

本发明涉及有机发光显示器面板的触摸封装(TOE，Touch On Encap)工序，更详细地，涉及在阻隔特性优秀且后续工序中产生少量不良的利用原子层沉积工序来形成的薄膜封装体上形成触摸屏板，由此在薄膜封装体上形成触摸屏板的方法。

背景技术

最近，通过画面展现多种信息的影像显示装置以信息通信时代的核心技术向更薄、更轻、容易携带且可实现高性能的方向发展。对这种影像显示装置的要求引领对液晶显示器(LCD，Liquid Crystal Display)、等离子体显示板(PDP，Plasma Display Panel)、电致发光显示器(ELD，Electro Luminescent Display)、场发射显示器(FED，Field EmissionDisplay)、有机发光显示器(OLED，Organic Light Emitting Display)等多种平板显示装置的研究及技术开发。

尤其，最近，集中于可通过影像显示装置实现柔韧(flexible)的特性的有机发光显示器的研究开发。有机发光显示器作为控制有机发光层的发光量来显示影像的显示装置，是从电子注入电极(Cathode)和空穴注入电极(Anode)中分别向发光层内部注入电子和空穴，当注入的电子和空穴相结合的激子(Exciton)从激发状态降为基态时发光的器件。

对于这种有机发光显示器中的有源矩阵有机发光显示器(AMOLED)而言，由利用有源器件来控制的3色(R、G、B)子像素构成的像素以矩阵形态排列而显示图像。因此，各个子像素具有有机电致发光器件和驱动该有机电致发光器件的单元驱动部。单元驱动部包括至少2个薄膜晶体管和存储电容器，从而根据数据信号来控制向有机电致发光器件供给的电流量，控制有机发光显示装置的亮度。

对于这种有机发光显示器而言，如图1所示，通过如下方法制造，在母基板S形成由有源区AA和无源区NA定义的多个单元C，并在有源区AA的周边形成玻璃料(frit)之后，随着划线SL进行切割来形成用于形成单位面板的器件基板。

此时，形成于有源区AA的栅极线及数据线之类的内部配线，通过与开/关焊盘及柔性电路板(FPC)焊盘相连接而向外围延伸的焊盘配线连接于短路棒等。开/关焊盘用于确认器件内部配线网是否正常工作，柔性电路板焊盘通过柔性电路板与驱动电路板相连接。

对于具有这种结构的有机发光显示器而言，虽有多种优点，但处于需要解决如下问题的状态，即，难以实现大面积批量生产技术开发的问题、当无法有效阻隔大气中的水分及氧时，产生黑点(dark spot)等缺陷，导致寿命急剧缩短的问题等。

尤其，最近为了实现柔性显示器，在聚酰亚胺等的高分子基板形成包括有机电致发光器件和单元驱动部的有机发光结构物时，这种高分子基板与玻璃基板相比，其水分及氧渗透度极大，因而对于有机发光结构物的密封(Encapsulation)方案更大地突出。

众所周知，对于有源矩阵有机发光显示器(AMOLED)而言，作为水分渗透度的评定量表的水蒸气透过率(WVTR，Water Vapor Transmission rate)值应最小为10^-6g/m²·天(day)以下。为此，最近作为代替利用玻璃基板的密封方法，如图2所示，还揭示在形成有器件1的基板S上依次层叠水分及氧阻隔性能优秀的无机薄膜2和有机薄膜3来进行密封的薄膜密封(Thin Film Encapsulation)方法。

众所周知的这种薄膜密封方法有如下几种，利用等离子体增强化学气相沉积(PECVD)工序来形成第一无机密封薄膜、第二无机密封薄膜，通过喷墨印刷方法来在第一无机密封薄膜、第二无机密封薄膜之间形成有机膜的方法和利用原子层沉积(ALD)工序来形成第一无机密封薄膜、第二无机密封薄膜，通过喷墨印刷方法来在第一有机密封薄膜、第二有机密封薄膜之间形成有机膜的方法。