[发明专利]一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法

说明书

本发明提供了一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。其在炉体的侧壁上沿着其石英管的排布方向顺次布置若干个测量孔，每个测量孔分别连通所述炉体的内腔，之后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置。

技术领域

本发明涉及多晶合成炉温场测量的技术领域，具体为一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法。

背景技术

现有技术中，对水平砷化镓多晶合成炉的温场测量(见图1)是通过炉体1的一侧端口，使用长短不一的测温传感器2，平行于温场的长度方向放置，实现测量炉内温场温度的目的，这样的测量方法操作难度大，由于长距离测温传感器受高温容易变形，导致测温不准，而且使用测量的材料浪费大等缺限。故急需一种既简单又实用的测量装置和方法。

发明内容

针对上述问题，本发明提供了一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。

一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量方法，其特征在于：其在炉体的侧壁上沿着其石英管的排布方向顺次布置若干个测量孔，每个测量孔分别连通所述炉体的内腔，之后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置。

其进一步特征在于：

所有的测量孔排布于所述炉体的同一侧壁上，确保测量的方便和安装的方便；

预先对组装的炉体的温区进行测量和计算、确定好对应的温场的测量位置，之后在确定好位置的所述炉体的其中一侧壁上开设对应的测量孔，插上对应的测温传感器后，在测温传感器和测量孔的连接处做好保护措施；

所述测量孔的孔径根据待安装的测温传感器的测温端的孔径设置，测量孔的孔径方便插装测问传感器的测温端即可；

优选地，所述测量孔的孔径为5mm～8mm。

一种对砷化镓多晶合成炉温场的测量装置，其特征在于：其包括炉体，所述炉体的侧壁沿着其长度方向排布有若干测量孔，每个所述测量孔连通至所述炉体的内腔，对应的测温传感器插装于对应的测量孔，所述测温传感器的测温端内伸于所述内腔内布置，所述测温传感器的数据传输端位于所述炉体的外侧布置。

其进一步特征在于：所述炉体的侧壁内表面设置有对应的石英管，所述石英管沿着炉体的长度方向排布设置，所述测量孔位于所述石英管的上侧表面布置，所述测量孔沿着所述石英管的上表面的轨迹线排列布置，确保测温传感器不会和石英管干涉设置；

所有的测温传感器为相同的测温传感器。

采用上述技术方案后，由于通过在炉体的侧壁上根据温区排布对应的测量孔，然后将测温传感器的测温端插装于对应的测量孔内置于炉体的对应内腔的位置，其使得传感器的长度可以缩减到原来的十分之一，大大节省了测温材料，且由于是通过插装方式进行安装测温传感器，所有的测温传感器可以是相同规格，使得安装方便快捷，且测温点的位置稳固可靠，不用再频繁拆插测温装置，既节省了操作时间，又降低了操作难度；综上，其节省了测温材料，且测温方便快捷，节约了操作时间、降低了操作难度。

附图说明

图1为现有的测量方法结构示意图；

图2为本发明的测量装置的结构示意图；

图中序号所对应的名称如下：

炉体1、侧壁2、石英管3、测量孔4、测温传感器5。

具体实施方式