[发明专利]模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法

说明书

本发明涉及模拟方法、模拟装置、存储介质、膜形成方法和生产固化产物的方法。提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法。所述方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。

技术领域

本发明涉及模拟方法、模拟装置和存储介质。本发明还涉及膜形成方法和固化产物的制造方法。

背景技术

提供通过将可固化成分(curable composition)布置在基板上、使可固化成分与模具接触并固化可固化成分来在基板上形成由可固化成分的固化产物制成的膜的方法。该膜形成方法可以被应用于压印方法和平坦化方法等。在压印方法中，通过使用具有图案的模具，模具的图案被转印到基板上的可固化成分。在平坦化技术中，通过使用具有平坦表面的模具，通过使基板上的可固化成分与平坦表面接触并固化可固化成分，形成具有平坦上表面的膜。

可固化成分可以以液滴的形式布置在基板上。此后，模具可以压靠基板上的可固化成分的液滴。这扩展液滴以形成可固化成分的膜。在该过程中，形成具有均匀厚度的可固化成分的膜并且在膜中不包括气泡是重要的。为了实现它们，可以调整液滴的布置以及使模具压靠液滴的方法和条件等。为了通过包括使用膜形成装置的膜形成的试错实现该调整操作，需要大量的时间和成本。为了应对这一点，希望出现支持这种调整操作的模拟器。

日本专利No.5599356描述了用于预测布置在图案形成表面上的多个液滴的湿扩展和合并的模拟方法。在该模拟方法中，通过对图案形成表面建模获得的分析表面被划分为多个分析单胞(cell)，并且，对分析表面上的各滴点布置液滴。日本专利No.5599356描述了，滴点被定义为通过将表面划分为m×n网格图案获得的区域，并且基于与分析单胞的概念不同的概念。

通常，当计算液滴的行为时，有必要定义计算组件(分析单胞)，每个计算组件(分析单胞)足够地小于各液滴的尺寸(大小)。然而，在定义如此小的计算组件时，计算液滴在整个宽区域(诸如一个压射(shot)区域)上的行为是极不现实的，并且可能不能在允许的时间内获得计算结果。特别地，计算组件(计算网格)上的多个液滴通常表示气泡的捕获。然而，由于计算网格的数量巨大，因此在现实时间内求解是不可能的。

发明内容

本发明提供有利于在较短时间内计算可固化成分在形成可固化成分的膜的过程中的行为的技术。特别地，本发明提供在关于可固化成分的液滴当中的气泡的表示的计算量方面有利的技术。

本发明在其第一方面中提供一种在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟方法，该方法包括：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。

本发明在其第二方面中提供一种存储用于使计算机执行在以上的第一方面中限定的模拟方法的程序的计算机可读存储介质。

本发明在其第三方面中提供一种用于在使布置在第一构件和第二构件中的一个上的可固化成分的多个液滴与第一构件和第二构件中的另一个接触并在第一构件上形成可固化成分的膜的过程中预测可固化成分的行为的模拟装置，其中，所述装置：通过连接所述多个液滴的两个相邻代表点来生成链接；生成作为由多个链接形成的闭合区域的单胞；以及，基于对应于形成单胞的各链接的液滴的合并的存在/不存在，确定是否在单胞中形成了气泡。