[发明专利]一种硅微六杆增力机构

权利要求书

1.一种硅微六杆增力机构，其特征在于，包括：第一固定锚点和第二固定锚点；

原动摇杆，所述原动摇杆通过软性铰链铰接于第一固定锚点的顶部；

第一连杆，所述连杆通过软性铰链铰接于所述原动摇杆表面的一侧；

从动摇杆，所述从动摇杆通过铰链铰接于所述连杆的端部，所述从动摇杆的一端通过软性铰链与所述第二固定锚点的顶部铰接；

第二连杆，所述第二连杆通过软性铰链铰接于所述从动摇杆的一侧；

输出杆，所述输出杆通过软性铰链铰接于所述第二连杆的一端，所述输出杆的表面设置有纵向约束副。

2.根据权利要求1所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述软性铰链可以为弧形软性铰链或者短臂柔性铰链。

3.根据权利要求1所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述硅微六杆增力机构设置于所述硅基板的氮化层上，所述氮化层上设置有固定结构层，所述固定结构层上固定结构层a构成原动摇杆、第一连杆、从动摇杆、第二连杆和输出杆。

4.根据权利要求3所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述所述固定结构层上的固定结构层b构成纵向约束副，所述固定结构层上的固定结构层a、固定结构层b、多晶硅层和金属层构成第一固定锚点和第二固定锚点。

5.根据权利要求1所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述纵向约束副包括减阻限位件和固定部，所述减阻限位件固定于固定部的顶部。

6.根据权利要求5所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述减阻限位件包括支撑环，所述支撑环的一端螺纹连接有限位环，所述支撑环的端部开设有多个放置槽，所述放置槽的内部设置有滚珠。

7.根据权利要求6所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述支撑环的端部且位于放置槽的外部固定连接有连接环，所述连接环的表面设置有外螺纹，所述限位环内表面的一侧设置有挡环，所述挡环与限位环内表面之间形成安装腔。

8.根据权利要求7所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述限位环内表面的周侧面设置有与外螺纹相适配的内螺纹。

9.根据权利要求8所述的一种硅微六杆增力机构，其特征在于：所述限位环的表面设置有拨动齿，所述限位环的孔径与所述支撑环的孔径相同。