[发明专利]激光扫描控制系统及方法

权利要求书

1.一种激光扫描控制系统(100，200，300)，包括控制设备(101)，所述控制设备(101)用于通过控制以下各项来执行协同扫描控制：

镜驱动器(121，321)，用于通过运动镜控制信号(172，372)沿着期望镜位置(123，323)来驱动镜(122，322)；以及

激光驱动器(110，310)，用于通过脉冲触发控制信号(132)来引起要在所述期望镜位置(123，323)处入射到所述镜(122，322)上的激光脉冲(112，312)的生成，

其中所述控制设备(101，301)包括用于基于与所述镜(122，322)的运动相关联的反馈运动测量(152，352，358)来提供估计运动信息(182，382，406)的运动估计器(400，180，380)，从而通过将用于触发所述激光脉冲(112，312)的期望调度(143，343)适配所述估计运动信息(182，382，406)，来生成所述脉冲触发控制信号(132)。

2.根据权利要求1所述的激光扫描控制系统，

其中所述控制设备(101，301)采用使用反馈运动测量(152，352)的锁相环PLL(127，227，327)，

其中所述控制设备(101，301)被配置为通过考虑所述估计运动信息(382，406)来生成所述运动镜控制信号(172，372)。

3.一种激光扫描控制系统(200，300)，包括控制设备(101，301)，所述控制设备(101，301)包括用于基于反馈运动测量(152，352，358)来提供估计运动信息(182，382，406)的运动估计器(180，380，400)，从而通过考虑所述估计运动信息(382a，406)来生成运动镜控制信号(272，372)，其中所述运动估计器(180，380，400)包括：

预测器(410)，用于预测与镜(122，322)的运动相关联的运动信息(414)；以及

校正器(430)，用于校正所预测的运动信息(414)以提供经校正的运动信息作为估计运动信息(182，382，406)。

4.根据权利要求1或2所述的激光扫描控制系统(100，300)，

其中所述控制设备(101)包括用于基于所述反馈运动测量(152，352，358)来提供估计运动信息(182，382，406)的运动估计器(180，380，400)，从而通过考虑所述估计运动信息(382，406)来生成所述运动镜控制信号(272，372)，其中所述运动估计器(180，380，400)包括

预测器(410)，用于预测与所述镜(122，322)的运动相关联的运动信息(414)；以及

校正器(430)，用于校正所预测的运动信息(414)以提供经校正的运动信息作为估计运动信息(182，382，406)。

5.根据权利要求3或4中任一项所述的激光扫描控制系统，其中所述预测器(410)被配置为使所述脉冲触发控制信号(132，332)的周期和/或频率适配所述估计运动信息(182，382，406)的周期(T_mir)和/或频率，和/或

所述校正器(430)被配置为使所述脉冲触发控制信号(132，332)的相位适配所述估计运动信息(182，382，406)的相位(t_mir,zc)。

6.根据权利要求3至5中任一项所述的激光扫描控制系统，其中所述预测器(410)被配置为基于以下各项来获取所预测的运动信息(414)：

先前估计运动信息(431)；以及

至少第一模型(f)，描述将至少以下各项相关联的物理交互：

所述运动信息的演变；与

与所述运动镜控制信号(172)相关联的信息(172)。