[发明专利]谐振器及滤波器在审
| 申请号： | 202010507710.9 | 申请日： | 2020-06-05 |
| 公开（公告）号： | CN111585537A | 公开（公告）日： | 2020-08-25 |
| 发明（设计）人： | 赵坤丽 | 申请（专利权）人： | 武汉衍熙微器件有限公司 |
| 主分类号： | H03H9/02 | 分类号： | H03H9/02;H03H9/13;H03H9/17;H03H9/54;H03H9/58 |
| 代理公司： | 深圳紫藤知识产权代理有限公司 44570 | 代理人： | 张晓薇 |
| 地址： | 430000 湖北省武汉市江夏区经济开发区*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 谐振器 滤波器 | ||
1.一种谐振器，其特征在于，包括：
衬底；
形成于所述衬底上的压电堆叠结构，所述压电堆叠结构包括依次设置的底电极、压电层和顶电极；以及，
形成于所述衬底与所述压电堆叠结构之间的谐振腔；
所述谐振器包括谐振区和非谐振区，所述底电极和所述顶电极中的至少一个包括在所述非谐振区中相对于所述衬底上表面呈斜坡状的第一侧壁，且所述第一侧壁在背离所述谐振区中心方向上的厚度逐渐减小。
2.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述第一侧壁包括至少一个第一斜坡面，每个第一斜坡面包括平面和弧面中的任意一个。
3.根据权利要求2所述的谐振器，其特征在于，任意相邻的两个第一斜坡面之间的坡度差小于预设坡度范围。
4.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述底电极的第一侧壁的坡度与所述顶电极的第一侧壁的坡度相同或不同。
5.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述底电极和所述顶电极中的至少一个还包括在所述谐振区中相对于所述衬底上表面呈斜坡状的第二侧壁，且所述第二侧壁在背离所述谐振区中心方向上的厚度逐渐减小。
6.根据权利要求5所述的谐振器，其特征在于，所述第二侧壁包括至少一个第二斜坡面，每个第二斜坡面包括平面和弧面中的任意一个。
7.根据权利要求5所述的谐振器，其特征在于，所述底电极的第二侧壁的坡度与所述顶电极的第二侧壁的坡度相同或不同。
8.根据权利要求5所述的谐振器，其特征在于，所述第一侧壁的坡度与所述第二侧壁的坡度相同或不同。
9.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述底电极的第一侧壁的坡度范围为25°至35°，所述顶电极的第一侧壁的坡度范围为35°至45°。
10.根据权利要求5所述的谐振器，其特征在于，所述底电极的第二侧壁的坡度范围为25°至35°，所述顶电极的第二侧壁的坡度范围为35°至45°。
11.根据权利要求1所述的谐振器，其特征在于，所述底电极在所述衬底上的正投影的形状和所述顶电极在所述衬底上的正投影的形状包括半圆、三角形、矩形和不规则多边形中的任意一个或多个的组合形状。
12.一种滤波器，其特征在于，包括如权利要求1至11任一项所述的谐振器。
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