[发明专利]一种实现LCP多层板任意层导通的工艺方法有效

专利信息
申请号: 202010504984.2 申请日: 2020-06-05
公开(公告)号: CN111918481B 公开(公告)日: 2022-01-04
发明(设计)人: 李育贤;邹捷 申请(专利权)人: 江西一诺新材料有限公司
主分类号: H05K3/00 分类号: H05K3/00
代理公司: 宁波甬致专利代理有限公司 33228 代理人: 黄宗熊
地址: 341600 江西省*** 国省代码: 江西;36
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摘要:
搜索关键词: 一种 实现 lcp 多层 任意 层导通 工艺 方法
【权利要求书】:

1.一种实现LCP多层板任意层导通的工艺方法,其特征在于:该方法包括下列步骤:

(1)、在纯铜箔(100)的一面贴合离型膜(200)作为基材,在纯铜箔(100)的另一面上钻出定位孔;

(2)、在钻有定位孔的纯铜箔(100)面上贴合光阻膜(400),并对光阻膜(400)进行影像转移工艺曝光显影,然后再在该纯铜箔(100)面上进行化学蚀刻工艺形成带有光阻膜(400)的铜柱;

(3)、去除光阻膜(400)以形成能够连通导体层的纯铜柱;

(4)、铜柱形成后,铺设介电绝缘层(300),对介电绝缘层(300)与铜柱进行压合密着工艺;

(5)、完成介电绝缘层(300)的压合后,再对铜柱的上部进行研磨以及采用电浆除胶工艺除胶,使铜柱的上表面露出;

(6)、铜柱的表面露出后,对离型膜(200)进行脱模作业,形成可连接各导体层的铜柱绝缘板;

(7)、在铜柱的顶端面贴合光阻膜(400),铜柱的底端面进行喷涂金属化处理工艺,使铜柱底端形成可导电的金属膜(500);

(8)、在铜柱底端的金属膜(500)上贴合光阻膜(400),对光阻膜(400)进行影像转移工艺曝光显影,然后金属膜(500)上通过图型电镀工艺形成导体线路(600);

(9)、然后去除铜柱顶端和底端的光阻膜(400),单面线路制作完成;

(10)、完成单层线路以及铜柱板的制作后,将多块铜柱板依层次作组合,并进行一次性高温压合密着工艺,完成LCP多层板的制作。

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