[发明专利]一种实现LCP多层板任意层导通的工艺方法有效
| 申请号: | 202010504984.2 | 申请日: | 2020-06-05 | 
| 公开(公告)号: | CN111918481B | 公开(公告)日: | 2022-01-04 | 
| 发明(设计)人: | 李育贤;邹捷 | 申请(专利权)人: | 江西一诺新材料有限公司 | 
| 主分类号: | H05K3/00 | 分类号: | H05K3/00 | 
| 代理公司: | 宁波甬致专利代理有限公司 33228 | 代理人: | 黄宗熊 | 
| 地址: | 341600 江西省*** | 国省代码: | 江西;36 | 
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 实现 lcp 多层 任意 层导通 工艺 方法 | ||
1.一种实现LCP多层板任意层导通的工艺方法,其特征在于:该方法包括下列步骤:
(1)、在纯铜箔(100)的一面贴合离型膜(200)作为基材,在纯铜箔(100)的另一面上钻出定位孔;
(2)、在钻有定位孔的纯铜箔(100)面上贴合光阻膜(400),并对光阻膜(400)进行影像转移工艺曝光显影,然后再在该纯铜箔(100)面上进行化学蚀刻工艺形成带有光阻膜(400)的铜柱;
(3)、去除光阻膜(400)以形成能够连通导体层的纯铜柱;
(4)、铜柱形成后,铺设介电绝缘层(300),对介电绝缘层(300)与铜柱进行压合密着工艺;
(5)、完成介电绝缘层(300)的压合后,再对铜柱的上部进行研磨以及采用电浆除胶工艺除胶,使铜柱的上表面露出;
(6)、铜柱的表面露出后,对离型膜(200)进行脱模作业,形成可连接各导体层的铜柱绝缘板;
(7)、在铜柱的顶端面贴合光阻膜(400),铜柱的底端面进行喷涂金属化处理工艺,使铜柱底端形成可导电的金属膜(500);
(8)、在铜柱底端的金属膜(500)上贴合光阻膜(400),对光阻膜(400)进行影像转移工艺曝光显影,然后金属膜(500)上通过图型电镀工艺形成导体线路(600);
(9)、然后去除铜柱顶端和底端的光阻膜(400),单面线路制作完成;
(10)、完成单层线路以及铜柱板的制作后,将多块铜柱板依层次作组合,并进行一次性高温压合密着工艺,完成LCP多层板的制作。
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