[发明专利]一种淡化ITO蚀刻纹的方法在审

专利信息
申请号: 202010504618.7 申请日: 2020-06-05
公开(公告)号: CN111506223A 公开(公告)日: 2020-08-07
发明(设计)人: 郑琦林;刘月豹;晏竹冰;张阳;廖晓芮;叶飞 申请(专利权)人: 安徽方兴光电新材料科技有限公司
主分类号: G06F3/041 分类号: G06F3/041
代理公司: 昆明合众智信知识产权事务所 53113 代理人: 周勇
地址: 233010 安*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 一种 淡化 ito 蚀刻 方法
【权利要求书】:

1.一种淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:

绘制ITO通道图案,ITO通道图案的线距设定为A,ITO通道图案线距的工艺公差值为n;

在ITO通道图案之间的间隙内,绘制靠近ITO通道图案的外层ITO悬浮块,外层ITO悬浮块与ITO通道图案的间距为A,此处的工艺公差值为n;

绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,B≤|n|。

2.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:所述绘制ITO通道图案,ITO通道图案的线距设定为A,ITO通道图案线距的工艺公差值为n,具体包括:

根据电性需求,绘制ITO通道图案,各个ITO通道图案之间的线距为A,ITO通道图案线距的工艺公差值为n,ITO通道图案的实际线距处于A-n≤A≤A+n的范围内,此时相邻的ITO通道图案之间不接触。

3.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:所述在ITO通道图案之间的间隙内,绘制靠近ITO通道图案的外层ITO悬浮块,外层ITO悬浮块与ITO通道图案的间距为A,此处的工艺公差值为n,具体包括:

在ITO通道图案之间的间隙内,绘制靠近ITO通道图案的外层ITO悬浮块,外层ITO悬浮块沿着ITO通道图案绘制有一圈,外层ITO悬浮块靠近ITO通道图案的一侧与ITO通道图案的间距为A,此处的工艺公差值为n,实际间距处于A-n≤A≤A+n的范围内,此时外层ITO悬浮块和ITO通道图案之间不接触。

4.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:所述绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,B≤|n|,具体包括:

绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,B≤|n|,ITO悬浮块之间存在随机接触的现象,进而产生位置、大小和形状随机分布的导通。

5.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:将所述绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,ITO悬浮块间距的工艺公差值仍为n,B≤|n|,替换为:

绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块与外层ITO悬浮块内侧的间隙为A,内层ITO悬浮块之间的相互间隙也为A,其中,在ITO悬浮块之间随机设置多边形悬浮块,将相邻的ITO悬浮块连接,整体形成不规则悬浮块。

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