[发明专利]一种淡化ITO蚀刻纹的方法在审
| 申请号: | 202010504618.7 | 申请日: | 2020-06-05 |
| 公开(公告)号: | CN111506223A | 公开(公告)日: | 2020-08-07 |
| 发明(设计)人: | 郑琦林;刘月豹;晏竹冰;张阳;廖晓芮;叶飞 | 申请(专利权)人: | 安徽方兴光电新材料科技有限公司 |
| 主分类号: | G06F3/041 | 分类号: | G06F3/041 |
| 代理公司: | 昆明合众智信知识产权事务所 53113 | 代理人: | 周勇 |
| 地址: | 233010 安*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 淡化 ito 蚀刻 方法 | ||
1.一种淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:该方法包括以下步骤:
绘制ITO通道图案,ITO通道图案的线距设定为A,ITO通道图案线距的工艺公差值为n;
在ITO通道图案之间的间隙内,绘制靠近ITO通道图案的外层ITO悬浮块,外层ITO悬浮块与ITO通道图案的间距为A,此处的工艺公差值为n;
绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,B≤|n|。
2.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:所述绘制ITO通道图案,ITO通道图案的线距设定为A,ITO通道图案线距的工艺公差值为n,具体包括:
根据电性需求,绘制ITO通道图案,各个ITO通道图案之间的线距为A,ITO通道图案线距的工艺公差值为n,ITO通道图案的实际线距处于A-n≤A≤A+n的范围内,此时相邻的ITO通道图案之间不接触。
3.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:所述在ITO通道图案之间的间隙内,绘制靠近ITO通道图案的外层ITO悬浮块,外层ITO悬浮块与ITO通道图案的间距为A,此处的工艺公差值为n,具体包括:
在ITO通道图案之间的间隙内,绘制靠近ITO通道图案的外层ITO悬浮块,外层ITO悬浮块沿着ITO通道图案绘制有一圈,外层ITO悬浮块靠近ITO通道图案的一侧与ITO通道图案的间距为A,此处的工艺公差值为n,实际间距处于A-n≤A≤A+n的范围内,此时外层ITO悬浮块和ITO通道图案之间不接触。
4.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:所述绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,B≤|n|,具体包括:
绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,B≤|n|,ITO悬浮块之间存在随机接触的现象,进而产生位置、大小和形状随机分布的导通。
5.根据权利要求1所述的淡化ITO蚀刻纹的方法,其特征在于:将所述绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块之间的间隙为B,ITO悬浮块间距的工艺公差值仍为n,B≤|n|,替换为:
绘制不与ITO通道图案相邻的内层ITO悬浮块,内层ITO悬浮块与外层ITO悬浮块内侧的间隙为A,内层ITO悬浮块之间的相互间隙也为A,其中,在ITO悬浮块之间随机设置多边形悬浮块,将相邻的ITO悬浮块连接,整体形成不规则悬浮块。
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