[发明专利]产生具有玻璃盖的MEMS装置和MEMS装置

权利要求书

1.一种产生微机电系统MEMS装置的方法，所述方法包括：

提供包括可移动元件的MEMS衬底；

通过热压印形成包括玻璃盖的玻璃盖构件；并且

将所述玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底，以便通过所述玻璃盖气密地密封空腔，所述可移动元件布置在所述空腔中。

2.根据权利要求1所述的方法，包括将第一玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底的第一侧，并且将第二玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底的、与所述MEMS衬底的所述第一侧相对的第二侧。

3.根据权利要求1所述的方法，其中提供所述MEMS衬底包括提供包括多个可移动元件的MEMS晶片，其中所述玻璃盖构件包括多个玻璃盖，并且其中所述玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底以便通过每一个玻璃盖气密地密封多个空腔中的一个空腔，其中在所述空腔中的每一个空腔中布置有所述多个可移动元件中的一个可移动元件。

4.根据权利要求2所述的方法，其中提供所述MEMS衬底包括提供包括多个可移动元件的MEMS晶片，其中所述第一玻璃盖构件包括多个第一玻璃盖，其中所述第二玻璃盖构件包括多个第二玻璃盖，其中所述玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底以便通过相应的第一玻璃盖和第二玻璃盖气密地密封多个空腔中的一个空腔，其中在所述空腔中的每一个空腔中布置有所述多个可移动元件中的一个可移动元件。

5.根据权利要求3或4所述的方法，还包括将所述MEMS晶片和接合到所述MEMS晶片的一个所述玻璃盖构件或多个玻璃盖构件单体化成多个MEMS装置，其中所述多个空腔保持被气密地密封。

6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中将所述玻璃盖构件或每个玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底包括使用激光微焊方法。

7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中所述玻璃盖或所述第一玻璃盖包括相对于所述MEMS衬底的平面以80°与90°之间的角度延伸的侧壁。

8.根据权利要求7所述的方法，其中所述玻璃盖或所述第一玻璃盖包括平坦部分，所述平坦部分连接所述侧壁的背对所述MEMS衬底的端部，在将所述玻璃盖构件或所述第一玻璃盖接合到所述MEMS衬底时，所述平坦部分相对于所述MEMS衬底的平面倾斜。

9.根据权利要求8所述的方法，其中所述侧壁的厚度在所述平坦部分的厚度的±25％的范围内，优选地在所述平坦部分的厚度的±10％的范围内。

10.根据权利要求1至9中任一项所述的方法，其中所述玻璃盖包括在所述玻璃盖的不同部分之间的尖锐边缘，并且不包括在所述玻璃盖的部分之间的圆形过渡。

11.根据权利要求1至7中任一项所述的方法，其中所述玻璃盖或所述第一玻璃盖包括圆顶形结构。

12.根据权利要求1至11中任一项所述的方法，包括在将所述玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底之前，在所述玻璃盖构件与所述MEMS衬底之间提供穿孔间隔件层。

13.根据权利要求1至12中任一项所述的方法，包括在惰性工艺气体的存在的情况下将所述玻璃盖构件接合到所述MEMS衬底。

14.根据权利要求1至13中任一项所述的方法，其中所述可移动元件是用于光检测和测距LIDAR应用的可移动反射镜。

15.根据权利要求1至14中任一项所述的方法，其中所述可移动元件是光学气体传感器的、光学压力传感器的或光学加速度传感器的可移动部分。