[发明专利]一种应力式悬臂梁磁场传感器

权利要求书

1.一种应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于，包括：振源、底座、悬臂梁、U形导线、电极；所述底座固定在所述振源上，所述悬臂梁的一端固定在所述底座上，所述悬臂梁的另一端为自由端，所述U形导线设置在所述悬臂梁上，所述电极设置在所述底座上，所述电极有两个，两个所述电极与所述U形导线连接，所述U形导线包括连接部，所述连接部与所述悬臂梁自由端的端面平行；工作时，两所述电极间施加直流电流，在待测磁场的作用下，所述U形导线受到磁场作用，产生收缩或扩张的力，从而改变所述悬臂梁的应力，从而改变所述悬臂梁的共振频率，通过检测所述悬臂梁共振频率实现磁场探测。

2.如权利要求1所述的应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于：所述U形导线嵌入到所述悬臂梁内。

3.如权利要求2所述的应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于：还包括第二连接部，所述第二连接部连接所述U形导线的两臂。

4.如权利要求3所述的应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于：所述第二连接部的宽度小于所述连接部的宽度。

5.如权利要求1-4任一项所述的应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于：在所述悬臂梁上设有凹槽。

6.如权利要求5所述的应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于：所述凹槽的方向平行于所述悬臂梁自由端的端面。

7.如权利要求6所述的应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于：所述凹槽设置在所述悬臂梁的U形导线另外一侧。

8.如权利要求7所述的应力式悬臂梁磁场传感器，其特征在于：所述悬臂梁为半导体材料或金刚石。