[发明专利]一种真空镀膜机工件治具转舱机械手

权利要求书

1.一种真空镀膜机工件治具转舱机械手，所述工件治具设置有位于治具（1）上端面的上插杆（1-2）和位于治具（1）下端面下插杆（1-1），其特征在于，

包括用于夹持所述治具（1）的夹持机构，以及分别控制所述夹持机构伸缩、升降的伸缩机构、升降机构，以及控制所述夹持机构转舱的旋转机构和平移机构，其中：

所述夹持机构，包括支撑板（2-1）和爪手，所述爪手包括设置于所述支撑板（2-1）顶端的、且用于夹持所述上插杆（1-2）的上爪手（2-21），和设置于所述支撑板（2-1）底端的、用于夹持所述下插杆（1-1）的、且平行于所述上爪手（2-21）的下爪手（2-22）；上爪手（2-21）和下爪手（2-22）的前端均开有卡口（2-23），用于卡住夹持冶具上、下插杆（1-2、1-3）；

所述伸缩机构，包括平行于水平面的横向气缸（2-3），用于固定所述横向气缸的横向气缸固定座（2-4），设置于所述横向气缸固定座（2-4）之上、下端并与所述爪手同方向延伸的横轨固定板，设置于所述横轨固定板面向所述爪手的一侧的横轨，用于连接所述横轨和爪手的横轨滑块，所述横向气缸（2-3）的横向活塞推杆（2-31）末端与所述支撑板（2-1）固定连接；

所述升降机构，包括主框架固定座（3-1），固定于所述主框架固定座（3-1）的主框架设置于主框架固定座（3-1）上端面的纵向气缸固定座（3-4），设置于所述纵向气缸固定座（3-4）上端面的纵向气缸（3-5），设置于所述主框架内侧壁上的纵轨（3-6），用于连接所述纵轨（3-6）与所述伸缩机构上的纵轨滑块（3-7），所述纵向气缸（3-5）的纵向活塞推杆（3-51）竖直向上延伸，所述纵向活塞推杆（2-51）的末端与所述伸缩机构的底部固定连接；

所述旋转机构，包括设置于所述主框架固定座（3-1）下方的移动底板（4-1），用于连接主框架固定座（3-1）与所述移动底板（4-1）的交叉滚子轴承（4-2），设置于移动底板（4-1）下端面的转动装置（4-3），所述转动装置（4-3）的转轴（4-31）贯穿移动底板（4-1）与主框架固定座（3-1）固定连接，使主框架固定座（3-1）能随转轴（4-31）的转动而旋转；

所述平移机构，包括设置于所述移动底板（4-1）下端面的一对平移导轨（5-1），设置于所述平移导轨（5-1）外侧的滑台固定板（5-3），固定于所述滑台固定板（5-3）上且平行于平移导轨（5-1）的滑台组件（5-4），用于连接移动底板（4-1）和滑台固定板（5-3）的连接块（5-5）。

2.根据权利要求1所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述支撑板（2-1）为T型板，所述T型支撑板（2-1）的腹板（2-11）朝向与所述上爪手（2-21）、下爪手（2-22）的延伸方向相同，且位于上爪手（2-21）、下爪手（2-22）延伸方向的中轴线上。

3.根据权利要求2所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述横向气缸（2-3）的横向活塞推杆（2-31）末端与所述支撑板（2-1）通过螺栓固定连接，支撑板（2-1）的腹板（2-11）于螺栓所在位置开挖一用于容纳螺栓头部的缺口（2-12）。

4.根据权利要求1-3任一所述的真空镀膜机工件治具转舱机械手，其特征在于：所述横轨固定板为两块，分别设置于所述横向气缸固定座（2-4）的顶部和底部，分别为上横轨固定板（2-51）和下横轨固定板（2-52），所述横轨固定板于所述支撑板（2-1）的两侧所在方向的、横轨固定板的侧壁上均设置有用于与所述纵轨滑块（3-7）相连接的竖板（2-54），于所述的上横轨固定板（2-51）和下横轨固定板（2-52）朝上、下爪手（2-21、2-22）方向端的侧壁开挖一个用于允许上、下插杆（1-2、1-3）通过的凹槽（2-53）；所述横轨包括设置于所述上横轨固定板（2-51）下端面的上横轨（2-61），以及设置于所述下横轨固定板（-52）上端面的下横轨（2-62）；所述横轨滑块包括用于连接上横轨（2-61）和所述上爪手（2-21）的上横轨滑块（2-71），以及用于连接下横轨（2-62）和所述下爪手（2-22）的下横轨滑块（2-72）。