[发明专利]柔性显示用基板及其制备方法、柔性显示装置

权利要求书

1.一种柔性显示用基板的制备方法，其特征在于，包括：

在柔性衬底上形成无机绝缘薄膜；

在所述无机绝缘薄膜上形成第一导电图案；

在形成有所述无机绝缘薄膜和所述第一导电图案的柔性衬底上，形成光刻胶图案，所述光刻胶图案至少覆盖所述第一导电图案和部分无机绝缘薄膜，并将所述无机绝缘薄膜的第一部分中的至少一部分露出，所述无机绝缘薄膜的第一部分为无机绝缘薄膜中位于第一导电图案周边的部分；

对所述无机绝缘薄膜中被所述光刻胶图案露出的部分，以及所述无机绝缘薄膜的第二部分中的一部分进行刻蚀，以形成具有去除部的无机绝缘层，其中所述无机绝缘薄膜的第二部分为所述无机绝缘薄膜中被所述第一导电图案覆盖的部分；

向所述去除部中填充有机材料，以形成有机绝缘图案。

2.一种柔性显示用基板，其特征在于，由权利要求1所述的柔性显示用基板的制备方法得到，包括：

柔性衬底；

设置在所述柔性衬底上的第一绝缘层，所述第一绝缘层包括：无机绝缘层和有机绝缘图案，所述无机绝缘层在远离所述柔性衬底的表面上设置有去除部，所述有机绝缘图案填充在所述去除部中；以及

设置在所述第一绝缘层远离所述柔性衬底一侧且与所述第一绝缘层接触的第一导电图案，所述第一导电图案在所述柔性衬底上的正投影与所述有机绝缘图案在所述柔性衬底上的正投影具有重叠区域。

3.根据权利要求2所述的柔性显示用基板，其特征在于，还包括：

设置在所述柔性衬底上的有源层；

所述有机绝缘图案在所述柔性衬底上的正投影与所述有源层在所述柔性衬底上的正投影不重叠。

4.根据权利要求2所述的柔性显示用基板，其特征在于，

所述第一导电图案中的一部分覆盖在所述无机绝缘层上，另一部分覆盖在所述有机绝缘图案上，且所述有机绝缘图案中的一部分被所述第一导电图案露出。

5.根据权利要求2所述的柔性显示用基板，其特征在于，还包括：

设置在所述第一导电图案远离所述柔性衬底一侧的第二绝缘层；以及，设置在所述第二绝缘层远离所述柔性衬底一侧的第二导电图案；

其中，所述第二绝缘层主要由有机绝缘材料构成。

6.根据权利要求5所述的柔性显示用基板，其特征在于，

所述第二绝缘层和所述有机绝缘图案的材料相同。

7.根据权利要求5所述的柔性显示用基板，其特征在于，

所述第二导电图案贯穿所述第二绝缘层，与所述第一导电图案电连接。

8.根据权利要求2所述的柔性显示用基板，其特征在于，

所述去除部为通孔或凹槽。

9.根据权利要求2-8任一项所述的柔性显示用基板，其特征在于，

所述第一导电图案为金属图案。

10.一种柔性显示装置，其特征在于，包括如权利要求2-9任一项所述的柔性显示用基板。