[发明专利]一种铝钪合金靶坯及其制备方法和应用

权利要求书

1.一种铝钪合金靶坯的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

将铝源和钪源置于水冷铜坩埚中，抽真空后充入惰性气体，重复进行电弧熔炼，得到熔融合金液；

在惰性气体保护下将所述熔融合金液冷凝，得到铝钪合金铸锭；

将所述铝钪合金铸锭依次进行电磁搅拌和重复热机械处理，得到铝钪合金靶坯。

2.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述抽真空后的真空度为3×10^-3～4×10^-3Pa；所述电弧熔炼的电流为410～450A，单次电弧熔炼的时间独立地为70～75s。

3.根据权利要求1或2所述的制备方法，其特征在于，所述电弧熔炼的重复的次数为5～7次。

4.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述电磁搅拌的电流为330～340A，时间为1～2min。

5.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述热机械处理的方式为锻造或轧制；所述热机械处理的温度为900～1050℃，单次热机械处理的时间独立地为2～4min。

6.根据权利要求5所述的制备方法，其特征在于，所述单次热机械处理过程中铝钪合金铸锭的变形率为25～30％。

7.根据权利要求1或5所述的制备方法，其特征在于，所述熔融合金液中钪和铝的原子数之比为(33～45)：(55～67)。

8.根据权利要求1所述的制备方法，其特征在于，所述铝的纯度≥99.999％；所述钪的纯度≥99.99％。

9.权利要求1～8任一项所述制备方法制备的铝钪合金靶坯，所述铝钪合金靶坯氧含量为200ppm，致密度≥97％。

10.权利要求9所述铝钪合金靶坯在制备ScAlN薄膜或作为FBAR/BAW器件的铝钪合金溅射靶材中的应用。