[发明专利]具有保护性压力特征的压力传感器组件

权利要求书

1.一种压力传感器组件(30)，包括：

传感器本体(32)，包括设置在所述本体内的感测膜(46)，用于放置与所述膜连通的流体，以用于确定所述流体的压力；以及

支撑件(34)，与所述本体(32)连接且包括开口(47)，用于从外部源接收所述流体，其中所述开口与所述膜(46)流体流动连通；

其中所述本体(32)或所述支撑件(34)中的一个包括通道(52)，用于从所述开口接收所述流体并将其传输至所述膜(46)，且其中所述通道(52)配置为具有方向变化和不同尺寸的部分中的一者或两者，以缓解到所述感测膜(46)的压力尖峰的输送。

2.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)的至少一部分相对于所述支撑件开口(47)和所述感测膜(46)中的一个在大致横向的方向上延伸。

3.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)包括插设在所述支撑件开口(47)和所述膜(46)之间的两个或更多个不同尺寸的部分(55)。

4.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)具有分别从约45度到150度的一系列的两个或更多个方向上的变化。

5.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其中，所述通道(52)包括至少两个方向上的变化且包括一个或多个不同尺寸的部分。

6.如权利要求1所述的压力传感器组件(30)，其为MEMS传感器的形式，其中，所述传感器本体(32)由硅制成且包括内室(44)，其中所述感测膜(46)设置在所述室(44)的一端，且其中所述支撑件(34)由选自由硅和玻璃构成的组的材料制成。

7.一种MEMS压力传感器(30)，包括：

传感器本体(32)，其由硅制成，且包括设置在其中的内室(44)和在室的一端的膜(46)，其中所述本体具有与所述膜相对的接口表面(36)；

与所述膜连接的电感测元件，用于确定进入所述本体并接触所述膜的流体的压力；

支撑件(34)，附接到所述本体的接口表面(36)且在其中具有开口(47)，所述开口用于接收待传输到所述本体(32)的流体；以及

压力缓解元件(52)，设置在所述开口(47)和所述膜(46)之间且与所述传感器(30)一体，所述压力缓解元件包括通道，所述通道在所述传感器内具有方向上的一个或多个变化。

8.如权利要求7所述的MEMS压力传感器(30)，其中，所述通道(52)包括两个部分(55)和(57)，它们定向为彼此分开约90度。

9.如权利要求7所述的MEMS压力传感器(30)，其中，所述通道(52)包括尺寸不同于所述开口的部分(55)。

10.如权利要求7所述的MEMS压力传感器(30)，其中，所述通道(52)设置在所述传感器本体(32)内，且包括约90度或更大的两个或更多个方向变化。

11.如权利要求7所述的MEMS压力传感器(30)，其中，所述通道(52)围绕所述内室(44)在外部延伸，且包括终端(54)，其进入所述内室(44)的与所述膜(46)相对的轴向端。