[发明专利]流体驱动器、流体检测模组及电子设备

权利要求书

1.流体检测模组，其特征在于，包括：

流体驱动器，所述流体驱动器形成有第一腔及喷口，所述流体驱动器还包括用于激励所述第一腔产生振动机制的激励器，所述喷口设于所述第一腔沿其振动方向上一侧的中心位置，所述第一腔通过所述喷口进行所述流体的吸入和喷出；

传感器，所述传感器设于从所述喷口喷出的流体的流出路径中，并用于检测所述流体的至少一种成分；

所述流体驱动器包括：

座体，所述第一腔形成于所述座体并贯穿所述座体的一侧；

隔膜，所述隔膜盖设于所述座体的一侧，所述喷口形成于所述隔膜上；

所述激励器贴设于所述隔膜内侧并用于驱动所述隔膜振动；

所述流体驱动器还包括盖板，所述盖板与所述隔膜之间形成有与所述喷口连通的第二腔，所述盖板上设有与所述喷口正对且同轴设置的第一出口。

2.如权利要求1所述的流体检测模组，其特征在于，所述传感器设置为微机电系统气体传感器。

3.如权利要求1或2所述的流体检测模组，其特征在于，所述激励器设置为锆钛酸铅压电薄膜。

4.如权利要求3所述的流体检测模组，其特征在于，所述锆钛酸铅压电薄膜的厚度范围为0.5μm-6μm。

5.如权利要求4所述的流体检测模组，其特征在于，所述隔膜外侧形成有凹槽，所述凹槽围设于所述喷口外，所述凹槽与所述锆钛酸铅压电薄膜的位置内外对应设置；

所述凹槽与所述锆钛酸铅压电薄膜之间的所述隔膜的厚度范围为18μm-22μm。

6.如权利要求5所述的流体检测模组，其特征在于，

所述盖板上设有第一进口，或者所述盖板与所述隔膜之间设有第一进口。

7.如权利要求6所述的流体检测模组，其特征在于，所述传感器设于所述第二腔中。

8.如权利要求6所述的流体检测模组，其特征在于，所述流体检测模组还包括壳体，所述流体驱动器及所述传感器均集成于所述壳体中。

9.如权利要求8所述的流体检测模组，其特征在于，所述壳体具有第三腔、第四腔、第二进口及第二出口；所述第三腔与所述第四腔相互连通设置，所述流体驱动器设于所述第三腔，所述第二进口与第一进口连通；所述传感器设于所述第四腔，所述第四腔连通于所述第二出口与所述第一出口之间。

10.如权利要求9所述的流体检测模组，其特征在于，所述第三腔连通于所述第一进口与所述第二进口之间。

11.如权利要求9或10或所述的流体检测模组，其特征在于，所述传感器可拆卸地安装于所述第四腔中。

12.如权利要求9或10所述的流体检测模组，其特征在于，所述传感器与所述流体驱动器沿第一方向并列设置，所述第一方向设置为与所述第一腔的振动方向平行。

13.如权利要求12所述的流体检测模组，其特征在于，所述传感器与所述喷口沿所述第一方向的位置内外对应设置。

14.如权利要求12所述的流体检测模组，其特征在于，所述壳体的内壁设有一圈安装板，所述盖板呈板状，所述盖板、隔膜及底座分别安装于所述安装板并沿所述第一方向依次设置；所述隔膜、盖板及安装板围合形成所述第二腔，所述安装板与所述隔膜之间形成所述第一进口。

15.如权利要求9所述的流体检测模组，其特征在于，所述传感器与所述流体驱动器沿第二方向并列设置，所述第二方向设置为与所述第一腔的振动方向垂直。