[发明专利]一种小口径高深度零件阳极遮蔽上挂治具

说明书

本发明是一种小口径高深度零件阳极遮蔽上挂治具，包括：第一治具，第二治具，第三治具，第四治具；第一治具腰部为凸起环，先端具有外螺纹，末端具有外螺纹，末端还具有内螺纹孔；第二治具为圆形凹槽结构，凹槽中部为圆孔，周围具有多个圆孔；第三治具为圆盘结构，圆盘中部设有螺栓，圆盘上具有多个扇形通孔；第四治具为长杆结构，长杆先端设有外螺纹，末端为螺纹杆；第一治具先端外螺纹与零件螺合连接，第二治具套在第一治具凸起环上，两端与零件抵接；第三治具顶在第二治具底下，第三治具的螺栓与第一治具末端外螺纹连接；第四治具外螺纹与第一治具末端内螺纹孔螺合连接。所有治具均采用钛合金，可以保证很好的机械强度，质量轻，重复利用率高。

技术领域

本发明涉及半导体表面处理加工领域，尤其针对一种小口径高深度零件阳极遮蔽上挂治具。

背景技术

铝合金阳极氧化处理是半导体应用最广泛的工艺之一，是可控的电化学阳极过程，在铝表面生成高硬度、耐腐蚀、耐磨损、电绝缘的氧化膜。对于有零件有裸铝要求的位置需要使用胶带遮蔽，但是对于小口径高深度裸铝工位，胶带遮蔽无法实现很好的遮蔽效果，因此开发一种新型遮蔽上挂治具，借助治具完成裸铝位置的硬遮蔽。

发明内容

本发明的目的是提供一种小口径高深度零件阳极遮蔽上挂治具。

本发明是采用的技术方案是：

一种小口径高深度零件阳极遮蔽上挂治具，包括：第一治具，第二治具，第三治具，第四治具；第一治具腰部为凸起环，先端具有外螺纹，末端具有外螺纹，末端还具有内螺纹孔；第二治具为圆形凹槽结构，凹槽中部为圆孔，周围具有多个圆孔；第三治具为圆盘结构，圆盘中部设有螺栓，圆盘上具有多个扇形通孔；第四治具为长杆结构，长杆先端设有外螺纹，末端为螺纹杆；第一治具先端外螺纹与零件螺合连接，第二治具套在第一治具凸起环上，两端与零件抵接；第三治具顶在第二治具底下，第三治具的螺栓与第一治具末端外螺纹连接；第四治具外螺纹与第一治具末端内螺纹孔螺合连接。

本发明的优点是：实现小口径高深度裸铝工位遮蔽，提高遮蔽效果，实现产品的稳定化生产。使用钛合金可以保证很好的机械强度，质量轻，重复利用率高。

附图说明

图1为本发明的组装截面示意图；

图2为本发明第一治具结构图。

图3为本发明第二治具正视图。

图4为本发明第三治具正视图。

图5为本发明实施例中小口径高深度零件遮蔽上挂治具4

具体实施方式

下面结合说明书附图1-5及附图标记对本发明进一步详细说明。

一种小口径高深度零件阳极遮蔽上挂治具，包括：第一治具1，第二治具2，第三治具3，第四治具4；第一治具1腰部为凸起环，先端具有外螺纹，末端具有外螺纹，末端还具有内螺纹孔；第二治具2为圆形凹槽结构，凹槽中部为圆孔，周围具有多个圆孔；第三治具3为圆盘结构，圆盘中部设有螺栓，圆盘上具有多个扇形通孔；第四治具4为长杆结构，长杆先端设有外螺纹，末端为螺纹杆。

第一治具1先端外螺纹与零件螺合连接，第二治具2套在第一治具1凸起环上，两端与零件抵接；第三治具3顶在第二治具2底下，第三治具3的螺栓与第一治具1末端外螺纹连接；

第四治具4外螺纹与第一治具1末端内螺纹孔螺合连接。

第二治具2中间圆孔的孔径跟第一治具1外壁间隙配合，与产品裸铝遮蔽位置固定，降低遮蔽误差。

第三治具3旋紧在第一治具1，并与第二治具2紧密贴合，加固遮蔽作用。

第二治具2和第三治具3上开有孔洞，方便溶液流动，保证内壁除裸铝遮蔽位置其余位置阳极均匀。

第四治具4与第一治具1通过螺纹相连，需要高于零件内壁高度，方便阳极上挂。所有治具均采用钛合金，可以保证很好的机械强度，质量轻，重复利用率高。