[发明专利]一种小孔多流道分体式流体抛光治具

说明书

本发明是一种小孔多流道分体式流体抛光治具，包括设置在外侧的第一模具和第二模具；在第一模具和第二模具之间设有第三模具、第四模具；将工件设置在第三模具和第四模具之间。本发明加工简单，使用性强，操作方便，节省大量人工准备时间，并且保证研磨的效果和质量。

技术领域

本发明属于机械制造业技术领域，针对IC装备零部件的零件加工而设计的一种小孔多流道分体式流体抛光治具。

背景技术

随着电子集成电路，智能制造的快速发展和普及，对于IC装备的需求量也日益增加。IC装备零部件的零件中对微小孔精度及粗糙度要求很高，这样的小孔需要使用超高转速加工中心来保证孔的直径公差及位置度要求。不允许孔内有毛刺，但是孔内毛刺是难以去除的，直径在￠0.3mm以下的微小孔不能通过人工去除毛刺，所以只能通过专门的磨粒流体抛光设备来完成，并且小孔对于粗糙度也是有要求的。因此需要采用专门的磨粒流设备配合专用的工装夹具才能达到去除毛刺，改善孔内粗糙度质量达到要求。

发明内容

本发明是一种小孔多流道分体式流体抛光治具。为了磨削工件小孔需要设计专用治具，此治具将不同孔径小孔分别开来抛磨，通过更换金属模具内轻巧的尼龙模具来实现其功能。保证操作简单并能够分别抛磨不同孔位。

本发明采用的技术方案是：

一种小孔多流道分体式流体抛光治具，包括设置在外侧的第一模具和第二模具；在第一模具和第二模具之间设有第三模具、第四模具；将工件设置在第三模具和第四模具之间。

优选的在第一模具和第二模具之间设有第五模具、第六模具；将工件设置在第五模具和第六模具之间。

优选的在第一模具和第二模具之间设有第七模具、第八模具；将工件设置在第七模具和第八模具之间。

优选的在第一模具和第二模具之间第九模具、第十模具；将工件设置在第九模具和第十模具之间。

本发明的有益效果是：

1、工装设计结构简单实用，使用铝合金和尼龙材质，保证工装重量轻，便于单个操作者能够搬运和装夹。

2、工装通过模具的连接和导通，使磨料从导流口引入和导出，来回循环，第一模具、第二模具是连接磨粒流设备磨料口的通道口。

3、工装通过导流口来覆盖所有孔位的面积，采用四次装夹操作即可完成3次工件磨削加工。

4、本发明加工简单，使用性强，操作方便，节省大量人工准备时间，并且保证研磨的效果和质量。

附图说明

图1-1为本发明实施例一组装示意图。

图1-2为图1-1的B-B剖视图。

图1-3为图1-2的C处放大图。

图1-4为实施例一的结构爆炸图。

图2-1为本发明实施例二组装示意图。

图2-2为图2-1的D-D剖视图。

图2-3为图2-2的E处放大图。

图2-4为实施例一的结构爆炸图。

图3-1为本发明实施例三组装示意图。

图3-2为图3-1的F-F剖视图。

图3-3为图3-2的G处放大图。

图3-4为实施例三的结构爆炸图。

图4-1为本发明实施例四组装示意图。

图4-2为图4-1的H-H剖视图。