[发明专利]一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂在审
| 申请号： | 202010464106.2 | 申请日： | 2020-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111705318A | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 王洁;王盛;张静;高勇;胡耀程;许章炼;吴岳;周浩宇;范佳锟;游志明;王斌;聂昆仑;罗昊;杜鑫 | 申请（专利权）人： | 西安交通大学 |
| 主分类号： | C23C30/00 | 分类号： | C23C30/00;C22C30/00 |
| 代理公司： | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人： | 房鑫 |
| 地址： | 710049 *** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 泡沫 金属 衬底 钛合金 吸气 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，包括泡沫金属衬底以及设置于泡沫金属衬底的吸气剂层，其中，吸气剂层为TiZrVHfY薄膜层或者TiZrVHfTa薄膜层。
2.根据权利要求1所述的基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，在真空状态下，吸气剂层在100℃的高温下持续加热2小时以上，吸气剂层表面的金属氧化物逐渐转化为金属态，实现吸气剂层的逐步激活，被激活的吸气剂层能够吸附真空室内的残余气体，提高真空室内的真空度，维持真空室内的超高真空状态。
3.根据权利要求1所述的基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，吸气剂层中各元素的原子数之比在8-30％之间。
4.根据权利要求1所述的基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，吸气剂层镀于泡沫金属衬底上。
5.根据权利要求1所述的基于泡沫金属衬底的五元钛合金吸气剂，其特征在于，吸气剂层表面的二次电子产额低于1.1。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安交通大学，未经西安交通大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/202010464106.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
