[发明专利]光波导结构及其制备方法

权利要求书

1.一种光波导结构，其特征在于，所述光波导结构包括：

第一光波导主体结构，所述第一光波导主体结构包括相对的第一表面及第二表面，所述第一光波导主体结构的第一表面为平面，所述第一光波导主体结构的第二表面具有第一阵列结构；

第二光波导主体结构，所述第二光波导主体结构包括相对的第一表面及第二表面，所述第二光波导主体结构的第一表面为平面，所述第二光波导主体结构的第二表面具有第二阵列结构；

其中，所述第一光波导主体结构的第二表面与所述第二光波导主体结构的第二表面相贴合，且在所述第一阵列结构与所述第二阵列结构之间具有平行设置的间隙。

2.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于：所述间隙的宽度范围包括1μm～100μm。

3.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于：所述第一阵列结构为锯齿状结构，所述第二阵列结构为锯齿状结构，且所述第一阵列结构及所述第二阵列结构具有相同形貌；所述锯齿状结构包括若干个依次连接的齿部，且相邻所述齿部的齿尖间距与所述齿部的齿根间距相同。

4.根据权利要求1所述的光波导结构，其特征在于：所述间隙中还包括折射率小于所述第一光波导主体结构及所述第二光波导主体结构的光角度选择反射膜，其中，所述光角度选择反射膜包括MgF₂薄膜或SiO₂薄膜；所述光角度选择反射膜的结构包括镂空纳米结构薄膜；所述第一光波导主体结构的材料包括树脂或玻璃；所述第二光波导主体结构的材料包括树脂或玻璃。

5.根据权利要求1至4中任一项所述的光波导结构，其特征在于：所述光波导结构还包括镜片，所述镜片贴置于所述第一光波导主体结构与所述第二光波导主体结构贴合后形成的贴合结构的两端。

6.根据权利要求5所述的光波导结构，其特征在于：所述贴合结构包括贴合结构凸起部，所述镜片包括镜片凸起部，且所述贴合结构凸起部与所述镜片凸起部相贴合，以形成阶梯状结合结构。

7.根据权利要求1至4中任一项所述的光波导结构，其特征在于：所述第一光波导主体结构或所述第二光波导主体结构为镜片。

8.一种光波导结构的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：

制备第一光波导主体结构及第二光波导主体结构；其中，所述第一光波导主体结构包括相对的第一表面及第二表面，所述第一光波导主体结构的第一表面为平面，所述第一光波导主体结构的第二表面具有第一阵列结构；所述第二光波导主体结构包括相对的第一表面及第二表面，所述第二光波导主体结构的第一表面为平面，所述第二光波导主体结构的第二表面具有第二阵列结构；

将所述第一光波导主体结构的第二表面与所述第二光波导主体结构的第二表面相贴合，且在所述第一阵列结构与所述第二阵列结构之间形成平行设置的间隙。

9.根据权利要求8所述的光波导结构的制备方法，其特征在于：基于同一模具制备所述第一光波导主体结构及所述第二光波导主体结构，所述第一阵列结构及所述第二阵列结构为锯齿状结构，所述锯齿状结构包括若干个依次连接的齿部，且相邻所述齿部的齿尖间距与所述齿部的齿根间距相同。

10.根据权利要求8所述的光波导结构的制备方法，其特征在于：形成的所述间隙的宽度范围包括1μm～100μm；还包括在所述间隙中形成折射率小于所述第一光波导主体结构及所述第二光波导主体结构的光角度选择反射膜的步骤，其中，所述光角度选择反射膜包括MgF₂薄膜或SiO₂薄膜；所述光角度选择反射膜的结构包括镂空纳米结构薄膜；所述第一光波导主体结构的材料包括树脂或玻璃；所述第二光波导主体结构的材料包括树脂或玻璃。