[发明专利]晶圆可冲洗的晶圆电镀设备

权利要求书

1.晶圆可冲洗的晶圆电镀设备，其特征在于，包括：

电镀液槽，所述电镀液槽的内壁设置有收集槽；

盖子，所述盖子盖接在所述电镀液槽上；

晶圆，所述晶圆可旋转地安装在所述盖子上；

第一驱动机构，用于驱动所述晶圆旋转；

喷头，所述喷头设置在所述电镀槽液上，用于向所述晶圆表面喷水；

当所述喷头向所述晶圆表面喷水时，所述第一驱动机构驱动所述晶圆旋转，使所述晶圆表面的喷水甩出并收集在所述收集槽中。

2.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述收集槽设置有开口，所述开口与所述晶圆在径向上位置相对；

所述收集槽由所述开口沿轴向朝所述电镀液槽内部延伸设置。

3.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述喷头安装在所述电镀槽液的内壁上；所述喷头的喷水方向相对于所述晶圆表面倾斜设置。

4.根据权利要求1所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述盖子包括晶圆夹持件；所述晶圆固定安装在所述晶圆夹持件上；

所述第一驱动机构包括第一传动轴，所述晶圆夹持件周向固定在所述第一传动轴上；

所述第一驱动机构被配置为用于带动所述第一传动轴旋转，从而带动所述晶圆夹持机构周向旋转。

5.根据权利要求4所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第一驱动机构包括第一旋转电机、第一主动轮、第二从动轮；

所述第一主动轮周向固定在所述第一旋转电机的第一输出轴上；

所述第一传动轴周向固定在所述从动轮上；

所述第一主动轮通过传动带带动所述第一从动轮旋转。

6.根据权利要求4所述的晶圆电镀设备，其特征在于，还包括：

第二驱动机构，所述第二驱动机构被配置为用于驱动所述晶圆夹持件和所述晶圆沿轴向移动，并能带动所述晶圆从电镀位置沿轴向移动至冲洗位置；

在所述的电镀位置，所述晶圆浸在所述电镀液槽的电镀液中；

在所述的冲洗位置，所述晶圆轴向移动至脱离所述电镀液槽的电镀液，以被所述喷头喷水清洗。

7.根据权利要求6所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第二驱动机构与所述第一传动轴传动连接，用于带动所述第一传动轴沿轴向移动，从而带动所述晶圆夹持件沿轴向移动。

8.根据权利要求7所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第二驱动机构包括第二旋转电机、第二主动轮、第二从动轮和轴承座；

所述第二从动轮轴向固定在所述安装座上；所述轴承座周向固定在所述安装座上；所述轴承座通过轴承套设在所述第一传动轴上；

所述第二旋转电机的第二输出轴周向固定在所述第二主动轮上，用于带动所述第二主动轮旋转；

所述第二主动轮与所述第二从动轮相啮合，用于带动所述第二从动轮旋转；

所述从动轮设置有内螺纹，所述轴承座设置有外螺纹；所述第二从动轮的内螺纹套设在所述轴承座的外螺纹上，用于带动所述轴承座和所述第一传动轴沿轴向移动。

9.根据权利要求8所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第二旋转电机安装在所述安装座上；

所述轴承座上固定连接有顶固定板，所述顶固定板上设置有第一导向件；

所述安装座上设置有第二导向件，所述第二导向件与所述第一导向件相配合以限定所述轴承座沿轴向移动。

10.根据权利要求9所述的晶圆电镀设备，其特征在于：

所述第一导向件的数量至少有两个；

所述第二导向件的数量与所述第一导向件的数量相等，且分别对应；

所述第二导向件与对应所述第一导向件相配合，从而周向固定所述轴承座。