[发明专利]显示面板及其制作方法有效
| 申请号: | 202010461187.0 | 申请日: | 2020-05-27 |
| 公开(公告)号: | CN111564572B | 公开(公告)日: | 2023-04-18 |
| 发明(设计)人: | 郭志林;张振宇 | 申请(专利权)人: | 合肥维信诺科技有限公司 |
| 主分类号: | H10K50/844 | 分类号: | H10K50/844;H10K59/60;H10K71/00 |
| 代理公司: | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人: | 娜拉 |
| 地址: | 230037 安徽省合*** | 国省代码: | 安徽;34 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 显示 面板 及其 制作方法 | ||
1.一种显示面板的制作方法,其特征在于,包括:
提供衬底,所述衬底具有第一区域和第二区域;
在所述衬底上形成第一层叠中间层并图案化所述第一层叠中间层形成具有第一通孔的第一叠层,所述第一通孔暴露所述衬底的部分上表面,且所述第一通孔在所述衬底的正投影至少覆盖所述第一区域;
在所述第一叠层背向所述衬底的表面及所述第一通孔内形成第一有机层,至少去除所述第一叠层背向所述衬底一侧表面上的部分所述第一有机层,所述第一通孔内的所述第一有机层背向所述衬底的表面与所述第一叠层背向所述衬底的表面相平齐;在所述第一叠层上形成第二层叠中间层并图案化所述第二层叠中间层形成具有第二通孔的第二叠层,所述第二通孔与所述第一通孔在轴向上相连通,且所述第二通孔的孔径小于所述第一通孔的孔径;
在所述第二叠层上形成第三层叠中间层,至少部分所述第三层叠中间层位于所述第二叠层背向所述衬底的表面以形成发光器件层,且至少部分所述第三层叠中间层位于所述第一通孔内并与所述发光器件层断开,所述发光器件层具有与所述第二通孔轴向上相连通的第三通孔,且所述发光器件层具有朝向所述第三通孔的断面;
在所述发光器件层上形成封装层,至少部分所述封装层位于所述发光器件层背向所述衬底一侧的表面且至少部分所述封装层覆盖所述发光器件层的所述断面;
其中,还包括去除所述第一通孔内的所述第一有机层的步骤。
2.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,在所述形成具有第一通孔的第一叠层的步骤与所述形成具有第二通孔的第二叠层的步骤之间还包括:
所述第一有机层背向所述衬底的一侧具有平整表面。
3.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第一有机层的材料为光刻胶。
4.根据权利要求2所述的显示面板的制作方法,其特征在于,在所述形成第一有机层的步骤之后还包括固化所述第一有机层。
5.根据权利要求1所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述形成具有第二通孔的第二叠层的步骤,包括:
在所述第一叠层上形成第一金属中间层,所述第一金属中间层至少覆盖所述第一通孔内所述第一有机层背向所述衬底一侧的表面;
在所述第一金属中间层上形成第一光刻胶层并图案化所述第一光刻胶层,使得所述第一光刻胶层至少对应所述第二通孔镂空设置;
以图案化的所述第一光刻胶层为掩模图案化所述第一金属中间层,形成具有第一镂空区域的第一金属层,所述第一镂空区域在所述衬底的正投影与所述第二通孔在所述衬底的正投影重合。
6.根据权利要求5所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第一金属层还具有第二镂空区域,所述第二镂空区域围绕所述第一镂空区域的周向设置,使得位于所述第二镂空区域与所述第一镂空区域之间的所述第一金属层与其他部分所述第一金属层断开。
7.根据权利要求5所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述形成具有第二通孔的第二叠层的步骤还包括:
在所述图案化所述第一金属中间层的步骤之后,灰化去除所述第一通孔内的所述第一有机层;
去除所述第一光刻胶层;
在所述第一金属层上形成图案化的第一平坦化层,所述第一平坦化层具有与所述第一金属层的所述第一镂空区域相对应的第三镂空区域,所述第二通孔包括所述第一镂空区域和所述第三镂空区域。
8.根据权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述第一光刻胶层的厚度大于等于4μm。
9.根据权利要求7所述的显示面板的制作方法,其特征在于,所述形成发光器件层的步骤,包括:
在所述第一平坦化层上依次形成图案化的第一电极层和图案化的像素定义层,所述第一电极层和所述像素定义层对应所述第三镂空区域镂空设置;
在所述像素定义层背向所述衬底的一侧蒸镀自发光材料,至少部分所述自发光材料位于所述像素定义层上形成自发光层,且至少部分所述自发光材料位于所述第一通孔内并与所述自发光层断开。
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