[发明专利]用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶及其制作方法

权利要求书

1.一种用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：

所述薄膜热电偶包括第一半圆柱基体、第二半圆柱基体、第一热电极、第二热电极、铠装套筒及金属导通膜；其中，

所述第一半圆柱基体与所述第二半圆柱基体共同用于夹持所述第一热电极及所述第二热电极，且两者均收容于所述铠装套筒内；所述金属导通膜设置在所述铠装套筒收容所述第一半圆柱基体及所述第二半圆柱基体的一端上，所述第一半圆柱基体及所述第二半圆柱基体通过所述金属导通膜实现电连接；所述第一热电极远离所述金属导通膜的一端及所述第二热电极远离所述金属导通膜的一端依次穿过所述铠装套筒而凸出于所述铠装套筒。

2.如权利要求1所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：所述薄膜热电偶还包括堵头，所述堵头安装在所述铠装套筒的另一端，所述第一热电极及所述第二热电极均穿过所述堵头。

3.如权利要求1所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：所述第一半圆柱基体的表面及所述第二半圆柱基体的表面均制备有绝缘膜。

4.如权利要求1所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：所述金属导通膜的厚度为3～6微米，其材料为金。

5.如权利要求1所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：所述第一半圆柱基体的半径与所述第二半圆柱基体的半径相同，所述铠装套筒为圆柱筒状，其半径与所述第一半圆柱基体的半径相同。

6.如权利要求2所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：所述铠装套筒内设置有定位台阶，所述定位台阶为圆环状，其用于对所述第一半圆柱基体及所述第二半圆柱基体进行轴向定位；所述铠装套筒形成有热电偶腔及填胶腔，所述定位台阶位于所述热电偶腔与所述填胶腔之间，且三者相连通。

7.如权利要求6所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：所述第一半圆柱基体及所述第二半圆柱基体收容于所述热电偶腔内，所述填胶腔内填充有高温导热胶，以固定所述第一热电极及所述第二热电极；所述堵头部分的收容在所述填胶腔以封堵所述填胶腔。

8.如权利要求6所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶，其特征在于：所述定位台阶开设有注胶孔，所述注胶孔与所述热电偶腔、所述填胶腔均相连通。

9.一种如权利要求1-8任一项所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶的制作方法，其特征在于，该制作方法包括以下步骤：首先，将所述第一热电极及所述第二热电极通过所述第一半圆柱基体及所述第二半圆柱基体固定后装入所述铠装套筒内；接着，在所述第一半圆柱基体及所述第二半圆柱基体的端面制备金属导通膜，所述金属导通膜电性连接所述第一热电极及所述第二热电极。

10.如权利要求9所述的用于瞬态温度测量的可更新轴状薄膜热电偶的制作方法，其特征在于：所述第一半圆柱基体、所述第二半圆柱基体与所述铠装套筒通过点焊形成的第二焊点相互固定；制备所述金属导通膜之前还包括向所述铠装套筒内充注耐高温导热胶的步骤。