[发明专利]一种表面等离激元共振湿度传感器

权利要求书

1.一种表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于，包括：衬底、聚酰亚胺层、贵金属薄膜、贵金属块，所述聚酰亚胺层置于所述衬底上，所述聚酰亚胺层中设有孔洞，所述贵金属薄膜置于所述聚酰亚胺层的顶部，所述贵金属块置于所述孔洞的底部；使用时，所述聚酰亚胺层吸湿膨胀，改变所述贵金属薄膜和所述贵金属块的表面等离激元共振特性，通过探测该共振实现环境湿度的检测。

2.如权利要求1所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：在所述孔洞侧面的上部还设有贵金属颗粒。

3.如权利要求1所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：所述孔洞不贯穿整个所述聚酰亚胺层。

4.如权利要求1-3任一项所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：所述贵金属薄膜、所述贵金属块、所述贵金属颗粒的材料为金、银或铂。

5.如权利要求4所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：所述衬底的材料为二氧化硅。

6.如权利要求5所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：所述孔洞为条形。

7.如权利要求6所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：所述贵金属薄膜为分离的贵金属微纳结构。

8.如权利要求7所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：所述贵金属微纳结构为周期性排列的二聚体结构。

9.如权利要求7所述的表面等离激元共振湿度传感器，其特征在于：所述二聚体结构中两结构间的距离小于10纳米。