[发明专利]一种阻挡等离子体反流的分离式进气结构

权利要求书

1.一种阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：包括进气法兰、均为陶瓷材质的上部进气喷嘴和下部进气喷嘴；

上部进气喷嘴顶部伸入进气法兰底部；上部进气喷嘴同轴嵌套或同轴叠放在下部进气喷嘴顶部；上部进气喷嘴的底部和下部进气喷嘴的顶部均搭接在耦合窗上；

上部进气喷嘴和下部进气喷嘴中设置有呈折线型的进气通道，进气通道包括上轴向通道、径向通道、下轴向通道和出气口；

上轴向通道的顶部与进气法兰中的进气道相连通，底部与径向通道相连通；

径向通道或下轴向通道位于上部进气喷嘴和下部进气喷嘴的安装配合部位；

下轴向通道的顶部与径向通道相连通，且指向上部进气喷嘴的底部壁面；下轴向通道的底部与出气口相连通，出气口倾斜指向真空的反应腔室。

2.根据权利要求1所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：上部进气喷嘴同轴嵌套在下部进气喷嘴顶部；

下部进气喷嘴的底部边缘沿周向设置有若干个所述的出气口；

下轴向通道为若干个轴向边缘槽，设置在与下部进气喷嘴嵌套配合的上部进气喷嘴的底部外壁面；

径向通道为与轴向边缘槽数量相等的径向孔，所有径向孔沿周向内置在上部进气喷嘴的中部，每个径向孔均沿上部进气喷嘴的径向布设，每个径向孔的外侧端与对应下轴向通道的顶部相连通；

上轴向通道为与轴向边缘槽数量相等的轴向非通直孔，每个轴向非通直孔的底端与对应径向孔的内侧端相连通，每个轴向非通直孔的顶端与进气法兰中的进气道相连通。

3.根据权利要求2所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：下轴向通道通过匀气通道与出气口相连通，匀气通道设置在位于下轴向通道下方的下部进气喷嘴外壁面。

4.根据权利要求2所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：上部进气喷嘴和下部进气喷嘴之间嵌套间隙大于0.1mm。

5.根据权利要求2所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：上部进气喷嘴通过密封圈分别与进气法兰底部和耦合窗侧壁面密封连接。

6.根据权利要求1所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：上部进气喷嘴同轴叠放在下部进气喷嘴顶部；

上部进气喷嘴的中心设置上轴向通道，上轴向通道为沿上部进气喷嘴轴心周向均匀布设的若干个轴向通孔；

径向通道设置在下部进气喷嘴的顶部中心；

出气口沿周向设置在下部进气喷嘴的底部边缘；

下轴向通道包括与出气口数量相等的轴向非通直孔，所有轴向非通直孔沿周向内置在下部进气喷嘴的边缘中，且用于连通径向通道和出气口。

7.根据权利要求6所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：径向通道为圆形的径向匀气通道。

8.根据权利要求6所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：上部进气喷嘴通过密封圈分别与进气法兰底部和耦合窗侧壁面密封连接。

9.根据权利要求1所述的阻挡等离子体反流的分离式进气结构，其特征在于：上部进气喷嘴的底部和下部进气喷嘴的顶部均设有搭接在耦合窗上的搭接凸缘；径向通道的高度低于下部进气喷嘴顶部的搭接凸缘。