[发明专利]一种用于芯片蚀刻上片机在审
| 申请号: | 202010433461.3 | 申请日: | 2020-05-21 |
| 公开(公告)号: | CN111564391A | 公开(公告)日: | 2020-08-21 |
| 发明(设计)人: | 李伟明 | 申请(专利权)人: | 广州冰钫商贸有限公司 |
| 主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
| 代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
| 地址: | 510000 广东省广州市*** | 国省代码: | 广东;44 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 一种 用于 芯片 蚀刻 上片 | ||
1.一种用于芯片蚀刻上片机,其结构包括升降架(1)、液压杆(2)、夹取装置(3)、固定台(4)、机身(5),所述升降架(1)左侧与液压杆(2)右侧活动配合,所述液压杆(2)左侧与夹取装置(3)右侧相焊接,所述夹取装置(3)设于固定台(4)上方,所述固定台(4)底部与机身(5)顶部相焊接,其特征在于:
所述夹取装置(3)包括液压口(31)、夹板(32)、吻合装置(33),所述液压口(31)左侧与夹板(32)右侧活动配合,所述夹板(32)底部与吻合装置(33)顶部相焊接。
2.根据权利要求1所述的一种用于芯片蚀刻上片机,其特征在于:所述吻合装置(33)包括连接件(331)和吻合顶口(332),所述连接件(331)顶部与夹板(32)底部相焊接,所述吻合顶口(332)上端设于连接件(331)内部。
3.根据权利要求2所述的一种用于芯片蚀刻上片机,其特征在于:所述吻合顶口(332)包括伸缩装置(a1)、壳体(a2)、接触板(a3)、吻合杆(a4),所述伸缩装置(a1)设于壳体(a2)内部,所述壳体(a2)内壁与吻合杆(a4)外壁间隙配合,所述接触板(a3)顶部与吻合杆(a4)底部相粘合,所述吻合杆(a4)顶部与伸缩装置(a1)底部相焊接。
4.根据权利要求3所述的一种用于芯片蚀刻上片机,其特征在于:所述伸缩装置(a1)包括缓冲层(a11)、连接板(a12)、弹簧(a13),所述缓冲层(a11)设于连接板(a12)上方,所述连接板(a12)顶部与弹簧(a13)底部相焊接,所述弹簧(a13)设于缓冲层(a11)中心。
5.根据权利要求1所述的一种用于芯片蚀刻上片机,其特征在于:所述固定台(4)包括贴合装置(41)、放置台面(42)、支撑板(43),所述贴合装置(41)底部与放置台面(42)顶部相焊接,所述放置台面(42)底部与支撑板(43)顶部相焊接,所述支撑板(43)底部与机身(5)顶部相焊接。
6.根据权利要求5所述的一种用于芯片蚀刻上片机,其特征在于:所述贴合装置(41)包括弧形装置(411)、第一机身(412)、传动杆(413)、第二机身(414),所述弧形装置(411)设于第一机身(412)上方,所述第一机身(412)内设有传动杆(413),所述传动杆(413)顶部与第二机身(414)内部相焊接,所述第二机身(414)右侧顶部设有弧形装置(411)。
7.根据权利要求6所述的一种用于芯片蚀刻上片机,其特征在于:所述弧形装置(411)包括弧形顶块(z1)、锯齿轮(z2)、发条轴(z3)、支撑杆(z4)、锯齿底杆(z5),所述弧形顶块(z1)下方设有锯齿轮(z2),所述锯齿轮(z2)轴心设有发条轴(z3),所述发条轴(z3)与支撑杆(z4)右侧相铰接,所述锯齿底杆(z5)顶部与弧形顶块(z1)底部相焊接,所述锯齿轮(z2)与锯齿底杆(z5)活动卡合。
8.根据权利要求7所述的一种用于芯片蚀刻上片机,其特征在于:所述锯齿底杆(z5)包括缓冲杆(z51)、夹层(z52)、锯齿口(z53)、夹紧杆(z54)、通气孔(z55),所述缓冲杆(z51)外壁与夹层(z52)内壁间隙配合,所述锯齿口(z53)外壁与锯齿轮(z2)外壁锯齿活动配合,所述夹紧杆(z54)首尾两端与夹层(z52)外壁相焊接,所述通气孔(z55)贯通于夹层(z52)顶部中心。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
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