[发明专利]半导体设备的配置文件修改方法及装置

说明书

本公开实施例公开了一种半导体设备的配置文件修改方法及装置。其中，半导体设备的配置文件修改方法，包括：获取预先设置的配置文件，并将其转换为第一解析文件；从所述第一解析文件中获取标准配置项；响应于配置操作，对相应的标准配置项进行修改；设置关联标准配置项的状态为屏蔽状态，所述关联标准配置项为与修改的标准配置项互斥的标准配置项；基于所述修改的标准配置项得到修改后的配置文件；将所述修改后的配置文件，同步加载到指定设备端。根据用户的操作，对标准配置项进行修改，从而自动完成对配置文件的修改，提升修改效率，实现一次性修改设备端控制程序与用户界面程序两端的配置文件，提高了修改准确性。

技术领域

本公开属于半导体设备领域，更具体地，涉及一种半导体设备的配置文件修改方法及装置。

背景技术

半导体生产设备的软件控制系统，首先需具备稳定、可靠的控制功能。设备的软件控制系统采用分布式的上下位机，以网络通信方式传输数据与控制命令。其中靠近用户的一端，称为用户界面或者界面控制程序。靠近设备的另一端，称为设备端控制程序。

在软件系统的设计中，为支持设备多种模块的通用性以及设备的客户化，提供灵活的配置方式，以使应用程序实现最大程度的复用，会基于Xml格式文件存储全部可配置内容，这些Xml文件在应用程序启动或运行时被读取，由此使应用程序实现完整的设备模块构建和设备控制。用户通过修改配套的配置文件，就可以实现软件控制系统对设备的控制功能改变，由此实现对设备的不同控制要求。

同时，随着设备的越来越集成化，对软件控制系统也要求更好的集成，相应地需要软件系统具有更好的兼容、配置和扩展性。此时，相比于单一类型设备的配置文件修改操作，集成化设备的软件控制系统的配置文件修改操作，成为一项更为重要和复杂的工作，不仅产生更大工作量，也随着为适应不同客户端配置变更频度增加而要求配置文件修改操作的准确性。而随着软件控制系统的集成，使配套的配置文件内容显著增多，对完全依赖于手动方式修改配置文件是个挑战。

在实现本发明过程中，发明人发现现有技术中至少存在如下问题：

设备集成化后，由于兼容性需要，相应的集成化软件控制应用代码，包含了多种设备类型的控制方式。通过修改集成后的配置文件，就可以实现针对不同客户端进行具体设备类型配置。配置文件中，对应于集成化的控制应用代码，也包含多种设备类型的控制方式的配置内容。原来只需要分别在各自类型独立的应用代码范围内修改的配套的配置文件，现在面临全部需要在配置文件中完成修改。

在对集成化的配置文件修改时，集成化的配置文件包含了同一类配置项中全部可选择控制方式的配置内容，修改指定配置项的配置值后，还需要对该一类配置项中其他相关配置值进行设置。例如，在Xml文档中需将与指定配置项互斥的配置值屏蔽，一种屏蔽方式是通过将XmlDocument对象的XmlNode类型由XmlElement转换为XmlComment来实现。任何修改之前，配置文件中包含了全部可选控制方式的配置内容，因此配置文件不一定是应用程序可以直接启用。因此，需要互斥处理。

由于界面控制程序与设备端控制程序分布式部署，当修改完成一端的配置文件后，需要相应地修改另外一端的配置文件中对应配置项，相同的修改过程先后需要在两端总共执行两次，造成工作量增加了一倍，相应地修改过程中带来的错误也就增加。相当于将修改过程在工作量复制一倍而准确性相应地下降。两处的配置文件分别修改完成后，需要手动启动设备端控制程序，启动完成后手动启动界面控制程序。在启动界面控制程序的过程中，由于两端的修改过程均为手动修改，手动修改过程中可能导致两处修改存在了差异，而需要通过多次反复启动尝试发现匹配差异的位置，总体上降低了修改过程中一次性达到两端配置内容完全匹配的效率。

综上所述现有技术手动修改存在以下问题：

(1)修改效率低：修改的工作量增加一倍；