[发明专利]一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构

权利要求书

1.一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构，其特征在于，包括纳流通道（4）、环形谐振腔（5）和波导（6），所述纳流通道（4）和波导（6）分别设置在环形谐振腔（5）的两侧，且所述纳流通道（4）内填充含有荧光物质的生物溶液，

所述波导（6）远离荧光物质一侧的第二端口（2）设置有探测器，所述探测器用于探测第二端口（2）输出的光功率，进而测量荧光物质的位移；所述纳流通道（4）、环形谐振腔（5）和波导（6）的折射率为2.8~3.3；

所述生物溶液中荧光物质为量子点、荧光染料或上转换纳米粒子，所述荧光物质与环形谐振腔（5）的中心的水平距离为0~1μm；

所述纳流通道（4）、环形谐振腔（5）和波导（6）设置在同一平面内，且所述纳流通道（4）和波导（6）平行设置。

2.根据权利要求1所述的一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构，其特征在于，所述纳流通道（4）的宽度d1为50~150nm，两侧壁厚50~75nm，总宽度d5为150~300nm。

3.根据权利要求1所述的一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构，其特征在于，所述纳流通道（4）内填充的生物溶液的折射率为1.33~1.5。

4.根据权利要求1所述的一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构，其特征在于，所述纳流通道（4）与环形谐振腔（5）间距d2为150~250nm。

5.根据权利要求1所述的一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构，其特征在于，所述环形谐振腔（5）的外径R1、内径R2分别为2.27~2.33μm、2.07~2.13μm。

6.根据权利要求1所述的一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构，其特征在于，所述环形谐振腔（5）与波导（6）间距d3为200~300nm。

7.根据权利要求1所述的一种测量荧光物质微位移的纳流通道-谐振腔耦合结构，其特征在于，所述波导（6）宽度d6为150~300nm。