[发明专利]压持组件及传送装置

说明书

本申请公开了一种压持组件，所述压持组件包括底座、压持件以及弹性件，所述压持件的中心位置设置有转轴，所述压持件通过所述转轴与所述底座固定；其中，所述底座与所述压持件之间的边缘两端还设置有所述弹性件，所述压持件压持所述弹性件，所述弹性件可沿其延伸方向伸缩并传动所述压持件。本申请还提供一种包括所述压持组件的传送装置。本申请改善了玻璃基板在传送过程中因受到撞击力发生破片现象，进一步提升了产品的良率。

技术领域

本申请涉及屏幕显示技术领域，尤其涉及一种压持组件及传送装置。

背景技术

在半导体以及光电行业中，很多类型的显示面板中均设置有玻璃基板，而随着显示面板的大尺寸潮流趋势，玻璃基板的尺寸也越来越大，受制于玻璃的易碎特性，玻璃基板的尺寸越大，其在显示面板制程中的破碎风险就越高。例如，在显示面板的PVD(PhysicalVapor Deposition，物理气相沉积)工艺中，玻璃基板需要通过承载组件(例如承载盘)固定为直立状态，并由齿轮带动承载组件以此移动玻璃基板。在此过程中，齿轮带动承载组件必然会产生震动，如果震动过于剧烈，则极容易导致玻璃基板破裂。因此，需要一种压持组件，减轻传送过程中的震动来避免玻璃基板发生破片现象。

现有的压持组件为flat type(平面型)基板压持组件，其在水平传送加减速过程存在与基板撞击导致破片发生，玻璃基板0°到90°翻转过程因垂直方向存在约2mm高度差导致底部压持组件与玻璃基板有撞击产生。

综上所述，现有的压持组件及传送装置在玻璃基板传送过程中，玻璃基板因受到撞击力容易发生破片现象，进而降低了产品的良率。

发明内容

本申请实施例提供一种压持组件及传送装置，能够改善玻璃基板在传送过程中发生破片现象，以解决现有的压持组件及传送装置在玻璃基板传送过程中,玻璃基板因受到撞击力容易发生破片现象，进而降低了产品的良率的技术问题。

本申请实施例提供一种压持组件，所述压持组件包括底座、压持件以及弹性件，所述压持件的中心位置设置有转轴，所述压持件通过所述转轴与所述底座固定；其中，所述底座与所述压持件之间的边缘两端还设置有所述弹性件，所述压持件压持所述弹性件，所述弹性件可沿其延伸方向伸缩并传动所述压持件。

在一些实施例中，所述底座的中心位置设置有一凹槽，所述转轴内嵌于所述凹槽内。

在一些实施例中，所述底座开设有容置孔，所述弹性件插值于所述容置孔中且在自然状态下所述弹性件露出所述容置孔并与所述压持件相抵接。

在一些实施例中，所述弹性件包括第一弹性子件以及第二弹性子件，所述第一弹性子件以及所述第二弹性子件均为内置式弹簧。

在一些实施例中，所述容置孔为盲孔，所述底座上设置有位于所述容置孔内且向上延伸的限位柱，所述限位柱插置于所述内置式弹簧中。

在一些实施例中，所述压持件包括主体部以及阻挡部，所述阻挡部设置于所述主体部的一侧，所述阻挡部的一侧面与所述主体部上表面垂直，所述主体部以及所述阻挡部为一体成型结构。

在一些实施例中，所述主体部上表面以及所述阻挡部的一侧面均设置有软性缓冲件。

在一些实施例中，所述软性缓冲件包括设置于所述主体部上表面以及所述阻挡部的一侧面上的多个凸起。

本申请实施例还提供一种传送装置，用于传送真空溅射基板，所述传送装置包括所述的压持组件、托盘以及防静电组件。

在一些实施例中，所述防静电组件的材料为陶瓷。

本申请实施例提供的压持组件及传送装置，将压持件的两端内置弹簧且中间部设计转轴，改善了玻璃基板在传送过程中因受到撞击力发生破片现象，进一步提升了产品的良率。

附图说明