[发明专利]一种陶瓷基板平整度检测仪

权利要求书

1.一种陶瓷基板平整度检测仪，其特征在于：包括自动供料机构、移栽机构、检测平台和距离传感器；

自动供料机构用于陶瓷基板的自动供料；

移栽机构包括水平滑轨、滑块、空心升降轴、旋转接头、吸盘和压环；

水平滑轨平行设置在自动供料机构和检测平台两者水平连接线的上方；滑块沿水平滑轨滑移；

空心升降轴具有中空腔，空心升降轴的顶端安装在滑块底部，空心升降轴底端与吸盘固定连接，吸盘的吸气腔与空心转轴的中空腔相连通，形成真空充放气通道；

旋转接头同轴套装在位于滑块和吸盘之间的空心转轴上；旋转接头包括从上至下同轴设置的上盖、轴承座和下盖；上盖与轴承座之间通过平面轴承相连接，轴承座内安装滚轴轴承，滚轴轴承的内圈与空心升降轴紧配合；下盖固定在轴承座底部，且随滚轴轴承的外圈旋转；

压环同轴套设在吸盘外周，压环的顶部通过伸缩杆安装在下盖底部，伸缩杆的高度能够升降；

检测平台能够旋转，且顶面为水平的检测平面；

距离传感器安装在检测平台的上方且邻近检测平台的边缘设置，距离传感器高度位置固定。

2.根据权利要求1所述的陶瓷基板平整度检测仪，其特征在于：自动供料机构为顶升供料筒，包括上料筒和顶升板，顶升板内置在上料筒内且高度能够升降，陶瓷基板叠放在顶升板顶部。

3.根据权利要求2所述的陶瓷基板平整度检测仪，其特征在于：上料筒内壁面敷设有弹性耐摩层。

4.根据权利要求1所述的陶瓷基板平整度检测仪，其特征在于：自动供料机构为旋转供料台，包括旋转盘和若干个放置槽，放置槽沿旋转盘的周向均匀布设，每个放置槽底部及内壁均敷设有弹性耐摩层。

5.根据权利要求1所述的陶瓷基板平整度检测仪，其特征在于：检测平台由旋转电机驱动沿自身轴线旋转。