[发明专利]用于集成电路芯片的检测装置在审
| 申请号: | 202010424508.X | 申请日: | 2020-05-19 |
| 公开(公告)号: | CN113686781A | 公开(公告)日: | 2021-11-23 |
| 发明(设计)人: | 张成;姚燕杰;王丽;位贤龙 | 申请(专利权)人: | 江苏凯尔生物识别科技有限公司 |
| 主分类号: | G01N21/01 | 分类号: | G01N21/01;G01N21/956 |
| 代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 汤东凤 |
| 地址: | 215131 江苏省苏州市相*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 用于 集成电路 芯片 检测 装置 | ||
1.一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:包括底板(1)、安装于底板(1)上表面的电机(2)、若干个间隔设置于底板(1)上表面的固定板(5)和若干个分别与固定板(5)面对面设置的活动板(4),所述电机(2)安装于固定板(5)或活动板(4)的外侧,所述底板(1)与活动板(4)之间设置有一滑板(7),所述活动板(4)的下表面可活动地安装于滑板(7)上,从而使得活动板(4)可沿靠近或远离固定板(5)方向移动;
相对设置的固定板(5)与活动板(4)之间连接有一限位轴(501),所述活动板(4)靠近固定板(5)的一侧表面上具有一朝向固定板(5)的凸管(401),此凸管(401)中央开有供限位轴(501)嵌入的通孔,所述限位轴(501)的一端嵌入固定板(5)内,并与固定板(5)转动连接,此限位轴(501)的另一端嵌入凸管(401)上的通孔内,并可以在通孔内滑动;
所述电机(2)的输出端上连接有一转轴(201),此转轴(201)远离电机(2)的一端安装有一主齿轮(202),此主齿轮(202)与电机(2)之间的转轴(201)上安装有一副齿轮(204),所述固定板(5)、活动板(4)各自相对的一侧均设置有一转动盘(6),位于固定板(5)一侧的转动盘(6)可转动地安装于限位轴(501)上,位于活动板(4)一侧的转动盘(6)可转动地套装于凸管(401)外侧,位于同一侧的若干个转动盘(6)与副齿轮(204)之间通过一个卡带(602)传动连接,位于另一侧的若干个转动盘(6)与主齿轮(202)之间通过另一个卡带(602)传动连接,所述卡带(602)的外壁上设置有若干个供安装集成芯片(9)的安装卡槽(604);
若干个所述活动板(4)之间通过一推板(402)连接,此推板(402)位于活动板(4)相背于固定板(5)外侧,所述推板(402)的外侧设置有一安装架(3),此安装架(3)上安装有一第一气缸(301),此第一气缸(301)的输出端与推板(402)固定连接,所述安装架(3)上还设置有一第二气缸(303),所述第二气缸(303)的推杆横跨于卡带(602)上方,且此第二气缸(303)的推杆上连接有一CCD相机(304),此CCD相机(304)通过导线与安装于安装架(3)上的芯片检测单元(302)接通。
2.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:所述固定板(5)、活动板(4)和滑板(7)的数目均为两个,分别对应设置于底板(1)两端。
3.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:每个所述转动盘(6)的周向表面上设置有卡齿(601),所述卡带(602)的内表面上设置有与卡齿(601)配合的卡槽,所述卡带(602)与转动盘(6)之间通过卡槽与卡齿(601)传动连接。
4.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:所述转动盘(6)各自相背于固定板(5)、活动板(4)的一侧均设置有一挡板(603),从而在此挡板(603)与转动盘(6)之间形成一供卡带(602)嵌入的限位槽。
5.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:所述底板(1)上还设置有一支撑架(203),此支撑架(203)位于主齿轮(202)与副齿轮(204)之间,且所述转轴(201)通过支撑架(203)与底板(1)限位连接。
6.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:每个所述固定板(5)相背于活动板(4)的外侧均设置有一限位板(502),所述限位轴(501)的一端穿过固定板(5)与限位板(502)连接。
7.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:所述主齿轮(202)的厚度大于副齿轮(204)的厚度。
8.根据权利要求1所述的一种用于集成电路芯片的检测装置,其特征在于:所述滑板(7)的上表面开有多组移动滑槽(701),所述活动板(4)通过移动滑槽(701)与滑板(7)滑动连接。
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