[发明专利]一种含铌或钽的有机化合物的制备方法、产物及应用

权利要求书

1.一种含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

S1：将MX₅加入有机溶剂中混合均匀，形成体系I；其中，M为Nb或Ta，X为F、Cl、Br或I；

S2：向体系I中加入通式为HNR₁R₂的胺，搅拌，形成体系Ⅱ；其中，R₁、R₂为取代基团；

S3：向体系Ⅱ中加入异丙胺并持续搅拌；

S4：加入烷基锂或烷基锂的溶液形成体系Ⅲ，搅拌反应；

S5：过滤，蒸馏。

2.根据权利要求1所述的含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，还包括步骤S6：S5得到的产物通过精馏提纯，得到纯度99.999％以上的电子级iPrN＝M(NR₁R₂)₃。

3.根据权利要求1所述的含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，所述步骤S2先通过降温冷却至-30℃至0℃再加入通式为HNR₁R₂的胺。

4.根据权利要求1所述的含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，所述步骤S4先冷却至-30℃至0℃再加入烷基锂或烷基锂的溶液。

5.根据权利要求1或2所述的含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，步骤S1的所述有机溶剂包括甲苯、四氢呋喃、正己烷、正戊烷、正庚烷、乙醚中的至少一种。

6.根据权利要求1或2所述的含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，所述取代基团包括烷基、烯基、炔基、芳香基中的至少一种。

7.根据权利要求6所述的含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，所述取代基团甲基、乙基、正丙基、异丙基、正丁基、叔丁基或者仲丁基。

8.根据权利要求1或2所述的含铌或钽的有机化合物的制备方法，其特征在于，所述通式为HNR₁R₂的胺包括二甲胺、乙基甲基胺、二乙胺、二异丙胺或二仲丁胺中的至少一种。

9.一种含铌或钽的有机化合物，其特征在于，所述含铌或钽的有机化合物为通过权利要求1～8所述的制备方法得到的产物。

10.一种含铌或钽的金属有机化合物的应用，其特征在于，所述含铌或钽的有机化合物为通过权利要求1～8所述的制备方法得到的产物，应用于沉积温度为200～400℃的热型ALD或PEALD制备薄膜领域。