[发明专利]光谱仪装置在审
| 申请号: | 202010423260.5 | 申请日: | 2020-05-19 |
| 公开(公告)号: | CN111982280A | 公开(公告)日: | 2020-11-24 |
| 发明(设计)人: | 斯特凡·蒙克;米夏埃尔·奥克鲁斯;马尔科·布劳恩 | 申请(专利权)人: | 耶拿分析仪器股份公司 |
| 主分类号: | G01J3/18 | 分类号: | G01J3/18;G01J3/02 |
| 代理公司: | 中原信达知识产权代理有限责任公司 11219 | 代理人: | 穆森;戚传江 |
| 地址: | 德国*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 光谱仪 装置 | ||
1.一种用于分析来自光源(11)的光辐射(13)的光谱仪装置(10),包括:
-阶梯光栅(31),所述阶梯光栅用于在主色散方向上对进入所述光谱仪装置(10)的辐射(24)进行色散,
-色散元件(21),所述色散元件用于在交叉色散方向上对所述辐射(24)进行色散,其中,所述主色散方向和所述交叉色散方向彼此具有可预确定角度,以及
-检测器单元(39),所述检测器单元用于记录包括第一可预确定波长范围的所述辐射的第一部分(38、40)的第一光谱(64),
其特征在于:
-所述光谱仪装置(10)包括第一光学元件(37、48、52),所述第一光学元件被以如此方式布置和/或配置,使得能够借助于所述检测器单元(39)获取包括与所述第一可预确定波长范围不同的第二可预确定波长范围的所述辐射的第二部分(42)的第二光谱(65)。
2.根据权利要求1所述的光谱仪装置(10),
其中,所述第一光学元件(37、48、52)是透镜,特别是在一侧上反射的透镜,或者是反射镜,特别是偏转反射镜。
3.根据权利要求1或2所述的光谱仪装置(10),
包括第二光学元件(35),所述第二光学元件用于将所述辐射的所述第一部分(38、40)引导到所述检测器单元(39),其中,所述第二光学元件(35)优选是反射镜,特别是偏转反射镜。
4.根据权利要求3所述的光谱仪装置(10),
其中,所述第一光学元件(37、48、52)紧邻所述第二光学元件(35)和/或相对于所述第二光学元件(35)以可预确定角度被布置。
5.根据权利要求4所述的光谱仪装置(10),
其中,根据所述辐射的第二部分(42)的所述第二波长范围选择所述第一光学元件(37、48、52)的所述可预确定角度和/或位置。
6.根据前述权利要求中的至少一项所述的光谱仪装置(10),
包括成像光学组件(17),所述成像光学组件被设计成将所述辐射(37、48、52)的至少第一部分成像到像平面中,所述检测器单元(39)被布置在所述像平面中。
7.根据前述权利要求中的至少一项所述的光谱仪装置(10),
其中,所述第一光学元件(37、48、52)被以如此方式布置和/或配置,使得所述辐射的所述第一部分(38、40)和所述辐射的所述第二部分(42)被成像到一个像平面中。
8.根据前述权利要求中的至少一项所述的光谱仪装置(10),
所述光谱仪装置(10)被设计成交替接收所述辐射的所述第一部分(38、40)的第一光谱(64)和所述第二部分(42)的第二光谱(65)。
9.根据权利要求7所述的光谱仪装置(10),
包括特别是可移动的膜片单元(50),所述膜片单元被设计成至少暂时地阻挡所述辐射的所述第一部分(38、40)的至少部分(38)或所述辐射的所述第二部分(42)的至少部分。
10.根据权利要求1至7中至少一项所述的光谱仪装置(10),
所述光谱仪装置(10)被设计成借助于所述检测器单元(39)同时检测所述辐射的所述第一部分(38、40)的所述第一光谱(64)和所述第二部分(42)的所述第二光谱(65)。
11.根据权利要求10所述的光谱仪装置(10),
所述光谱仪装置(10)被设计成在所述检测器单元(39)的不同子范围中检测所述第一光谱(64)和所述第二光谱(65)。
12.根据权利要求10所述的光谱仪装置(10),
所述光谱仪装置(10)被设计成将所述第一光谱(64)和所述第二光谱(65)叠加到彼此上。
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