[发明专利]耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金

权利要求书

1.耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金，其特征在于，中间层为镍铬合金，镍铬合金的正反两面分别镀有NiO层，正反两面的NiO层表面均镀有Cr₂O₃层；所述的镍铬合金的厚度为0.8-1.2mm，NiO层厚度为0.05-0.2μm；Cr₂O₃层厚度为0.05-0.2μm。

2.根据权利要求1所述的耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金，其特征在于，所述的镍铬合金的厚度为1mm，NiO层厚度为0.1μm；Cr₂O₃层厚度为0.1μm。

3.根据权利要求1或2所述的耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：

（1）将镍铬合金置于工作台上，溅射源靶材为NiO粉末，对镍铬合金溅射镀膜，直到达到所需厚度；

（2）将步骤（1）中镀有NiO膜层的镍铬合金置于工作台上，在溅射源上装入Cr₂O₃粉末，对其溅射镀膜，直到达到所需厚度，得到电热合金；

（3）将步骤（2）制备得到的电热合金在惰性气氛下，800-1000℃下烧结2-5h，得到耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金。

4.根据权利要求3所述的耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金的制备方法，其特征在于，步骤（1）的溅射条件为：

工作气压：2×10⁰-5×10²Pa；

溅射气源：氩气，气源流量为500-800ml/min；

溅射温度：在真空溅射镀膜前对镍铬合金进行180-220℃的预热；

溅射功率：300-500W；

镀膜时间50-120s。

5.根据权利要求4所述的耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金的制备方法，其特征在于，步骤（1）替换为将镍铬合金置于工作台上，溅射源靶材为镍，溅射工艺气氛为：工作气体为氩气，流量为500-800ml/min；反应气体为氧气，流量为150-300 ml/min；工作气压：2×10⁰-5×10²Pa；溅射温度：在真空溅射镀膜前对镍铬合金进行180-220℃的预热；溅射功率：300-500W；镀膜时间为50-120s；对镍铬合金溅射镀膜，直到达到所需厚度。

6.根据权利要求3所述的耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金的制备方法，其特征在于，步骤（2）的溅射条件为：

工作气压：2×10⁰-5×10²Pa；

溅射气源：氩气，气源流量为500-800ml/min；

溅射温度：在真空溅射镀膜前对镍铬合金进行250-300℃的预热；

溅射功率：300-500W；

镀膜时间50-120s。

7.根据权利要求6所述的耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金的制备方法，其特征在于，步骤（2）替换为将步骤（1）中镀有NiO膜层的镍铬合金置于工作台上，溅射源靶材为铬，溅射工艺气氛为：工作气体为氩气，流量为500-800ml/min；反应气体为氧气，流量为150-300 ml/min；工作气压：2×10⁰-5×10²Pa；溅射温度：在真空溅射镀膜前对镍铬合金进行250-300℃的预热；溅射功率：300-500W；溅射时间为50-120s，对其溅射镀膜，直到达到所需厚度即可得到耐熔融氯化钠腐蚀的电热合金。