[发明专利]一种原子层沉积法制备铂/二氧化钛纳米管复合电极的方法

权利要求书

1.一种原子层沉积法制备铂/二氧化钛纳米管复合电极的方法，其特征在于，具体包括以下步骤：

(1)首先对钛片进行打磨、去污、化学抛光，之后依次采用无水乙醇、去离子水超声处理以去除钛片表面的油污然后再将处理好的钛片浸泡在酸洗液中进行化学抛光，再用去离子水冲洗干净，干燥后用于制备催化剂载体；

(2)采用阳极氧化的方法制备二氧化钛纳米管，以钛为阳极，石墨为阴极，电解液为1～5g/L NH₄HF₂,50～200g/L NH₄H₂PO₄的混合溶液，温度为室温，电压设置为10～30V，时间为3～8h，期间采用磁力搅拌；

(3)将制得的二氧化钛纳米管在300℃-500℃的条件下进行热处理，时间为1～5h；

(4)以热处理后的二氧化钛纳米管阵列作为催化剂载体，采用原子层沉积法将铂沉积到二氧化钛纳米管载体上，制备成铂-二氧化钛复合电极；铂前驱体(三甲基)甲基环戊二烯基铂和氧气为前驱体，氩气和氮气为载气；首先对原子层沉积设备的腔室进行抽真空，真空度至10^-3Pa以下，设置样品台温度为380℃，腔室温度120℃，铂前驱体温度85℃，氧气温度为20℃，载气流量为10sccm，采用等离子体原子层沉积技术，射频功率80W；在此条件下铂前驱体脉冲0.1s--等离子体化10s—再反应时间30s,然后氧气等离子体化60S，最后载气净化清洗时间为30s，形成一个ALD沉积周期；通过设置不同的沉积圈数即沉积周期来获得铂/二氧化钛纳米管复合电极；原子层沉积完毕后，腔室通以氮气氩气混合气以净空腔室内残留物。

2.按照权利要求1所述的方法制备得到的铂/二氧化钛纳米管复合电极。

3.按照权利要求1所述的方法制备得到的铂/二氧化钛纳米管复合电极得应用，作为电催化析氢(HER)电极。