[发明专利]一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法

说明书

本发明公开了一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法，包括喷膜料桶，所述喷膜料桶的上表面中间位置处嵌入滑动安装有顶杆，所述顶杆的上端设置有第一密封盖，所述第一密封盖的上表面中间位置处固定连接有拉环，所述喷膜料桶的下表面设置有喷膜板，所述喷膜板的下表面设置有第一密封垫片。本发明涉及碳化硅薄膜制备技术领域，该碳化硅薄膜成型装置，通过滑轴的外表面位于挡块的一侧位置处套接滑动安装有弹簧，利用弹簧的弹性，拉动滑轴上的把手，可以快速的完成第一密封盖或第二密封盖的安装或拆卸工作，代替了传统螺栓固定方式，节省了第一密封盖或第二密封盖的安装或拆卸的时间，同时也降低了人工的劳动强度。

技术领域

本发明涉及碳化硅薄膜制备技术领域，具体为一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法。

背景技术

碳化硅是用石英砂、石油焦(或煤焦)、木屑(生产绿色碳化硅时需要加食盐)等原料通过电阻炉高温冶炼而成，碳化硅在大自然也存在罕见的矿物，莫桑石，碳化硅又称碳硅石，在当代C、N、B等非氧化物高技术耐火原料中，碳化硅为应用最广泛、最经济的一种，可以称为金钢砂或耐火砂，正由于碳化硅具有优良的性质，人们专门生产出一种碳化硅薄膜，它是通过专门的成型装置而制成的。

专利申请公布号CN100564255C的发明专利公开了一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法，包括上密封盖、顶杆、喷膜料桶、喷膜板、垫片和下密封盖，上密封盖位于顶杆之上，上密封盖固设于喷膜料桶上，顶杆设在喷膜料桶内，喷膜板固定在喷膜料桶底部，通过熔融纺膜与先驱体转化法制备SiC薄膜，可得到自由的缺陷较少的连续碳化硅薄膜，具有工艺简单、操作过程简便、成本低、制膜速度快。

但是该碳化硅薄膜成型装置的密封盖是通过螺栓进行固定的，因此对其拆卸十分的不便，当对碳化硅薄膜进行制备时，原料表面会有杂质或油物会影响薄膜的制备效果，且在制备的过程中，脱泡效果不理想。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供了一种碳化硅薄膜成型装置与碳化硅薄膜的制备方法，解决了碳化硅薄膜成型装置的密封盖是通过螺栓进行固定的，因此对其拆卸十分的不便，当对碳化硅薄膜进行制备时，原料表面会有杂质或油物会影响薄膜的制备效果，且在制备的过程中，脱泡效果不理想的问题。

为实现以上目的，本发明通过以下技术方案予以实现：一种碳化硅薄膜成型装置，包括喷膜料桶，所述喷膜料桶的上表面中间位置处嵌入滑动安装有顶杆，所述顶杆的上端设置有第一密封盖，所述第一密封盖的上表面中间位置处固定连接有拉环，所述喷膜料桶的下表面设置有喷膜板，所述喷膜板的下表面设置有第一密封垫片，所述第一密封垫片的下表面固定连接有第二密封盖，所述第一密封盖的两侧下表面和第二密封盖的两侧上表面均设置有凸起块，所述喷膜料桶的上下方两侧均固定连接有与凸起块相对应的固定块，所述固定块的一侧设置有固定筒，且固定块的上表面开设有与凸起块相匹配的插槽，所述固定筒的一端嵌入滑动安装有滑轴，所述滑轴的一端外表面设置有挡块，且滑轴的外表面位于挡块的一侧位置处套接滑动安装有弹簧，所述滑轴的另一端设置有把手，所述第一密封盖的下表面位于顶杆的外围位置处设置有第二密封垫片。

优选的，所述固定筒与固定块的内部为连通的。

优选的，所述凸起块的一侧面开设有与滑轴相匹配的插孔，所述滑轴的一端是嵌入滑动安装于插孔的内部。

优选的，所述第一密封盖的前后方下表面和第二密封盖的前后方上表面均设置有定位轴，所述喷膜料桶的前后方上表面和喷膜板的前后方下表面均开设有与定位轴相对应的定位孔，所述定位轴是嵌入滑动安装于定位孔的内部。

优选的，所述弹簧的两端分别与挡块的一侧面和固定筒的一端内部表面固定连接，所述弹簧是一种不锈钢材质构件。

优选的，所述第一密封垫片和第二密封垫片均为一种硅酸铝材质构件。

优选的，所述喷膜板的直径小于两个凸起块之间的距离。