[发明专利]一种垂直腔面发射激光器快速老化方法及装置

权利要求书

1.一种垂直腔面发射激光器快速老化方法，其特征在于，对晶圆上的各垂直腔面发射激光器分别进行单次大电流脉冲老化与光老化相组合的组合老化；所述单次大电流脉冲老化具体为：对垂直腔面发射激光器施加脉冲宽度不大于0.5ms，电流大小为Ith+Is的电流脉冲，Ith为所述垂直腔面发射激光器的阈值电流，Is的取值范围为45mA～60 mA；所述光老化具体为：对垂直腔面发射激光器施加5-12小时的光老化驱动电流，所述光老化驱动电流为所述垂直腔面发射激光器的发光功率—电流的变化曲线上发光功率增大至最高点的80-90%所对应的电流。

2.如权利要求1所述垂直腔面发射激光器快速老化方法，其特征在于，在所述组合老化之后，对晶圆上的各垂直腔面发射激光器进行性能测试筛选。

3.如权利要求2所述垂直腔面发射激光器快速老化方法，其特征在于，利用点测机进行所述组合老化和/或性能测试筛选。

4.如权利要求1所述垂直腔面发射激光器快速老化方法，其特征在于，所述光老化的处理温度为25℃~50℃。

5.一种垂直腔面发射激光器快速老化装置，其特征在于，包括：

大电流脉冲老化模块，用于对晶圆上的各垂直腔面发射激光器分别进行单次大电流脉冲老化，所述单次大电流脉冲老化具体为：对垂直腔面发射激光器施加脉冲宽度不大于0.5ms，电流大小为Ith+Is的电流脉冲，Ith为所述垂直腔面发射激光器的阈值电流，Is的取值范围为45mA～60 mA；

光老化模块，用于对晶圆上的各垂直腔面发射激光器分别进行光老化，所述光老化具体为：对垂直腔面发射激光器施加5-12小时的光老化驱动电流，所述光老化驱动电流为所述垂直腔面发射激光器的发光功率—电流的变化曲线上发光功率增大至最高点的80-90%所对应的电流。

6.如权利要求5所述垂直腔面发射激光器快速老化装置，其特征在于，还包括：

筛选模块，用于在晶圆上对其上的各垂直腔面发射激光器进行性能测试筛选。

7.如权利要求6所述垂直腔面发射激光器快速老化装置，其特征在于，所述大电流脉冲老化模块、光老化模块和/或筛选模块利用点测机实现。

8.如权利要求5所述垂直腔面发射激光器快速老化装置，其特征在于，所述光老化的处理温度为25℃~50℃。