[发明专利]具有集成监视光电检测器和漫射器的光源

权利要求书

1.一种光源，包括：

衬底，包括第一表面和相对的第二表面；

外延层，位于所述衬底的所述第一表面上；

所述外延层中的至少一个光发生器，所述光发生器被定位为使得所传输的光信号导向所述衬底；

漫射器，位于所述衬底的所述第二表面上；及

所述外延层中的至少一个监视光电检测器，所述监视光电检测器被定位为接收由所述漫射器反射的所述光信号中的一部分。

2.根据权利要求1所述的光源，其中，将所述漫射器直接蚀刻到所述衬底的所述第二表面中。

3.根据权利要求1所述的光源，其中，所述漫射器直接耦合到所述衬底的所述第二表面。

4.根据权利要求3所述的光源，其中，所述漫射器包括位于所述衬底的所述第二表面上的一个或多个小透镜。

5.根据权利要求1所述的光源，其中，所述至少一个光发生器包括至少一个垂直腔表面发射激光器(VCSEL)，并且所述至少一个监视光电检测器位于所述VCSEL的侧面。

6.根据权利要求5所述的光源，其中，所述至少一个光发生器包括VCSEL的阵列。

7.根据权利要求6所述的光源，其中，所述阵列中的每个VCSEL的操作是可单独控制的。

8.根据权利要求1所述的光源，其中，所述至少一个光发生器位于至少两个监视光电检测器之间。

9.根据权利要求1所述的光源，其中，所述至少一个监视光电检测器被配置为提供指示所述反射的光信号的电信号。

10.一种系统，包括：

光源，包括：

衬底，包括第一表面和相对的第二表面；

外延层，位于所述衬底的所述第一表面上；

所述外延层中的至少一个光发生器，被定位为使得将借以传输的光信号导向所述衬底；

漫射器，位于所述衬底的所述第二表面上；

所述外延层中的至少一个监视光电检测器，被定位为接收由所述漫射器反射的反射光信号；及

控制器，与所述至少一个光发生器和所述至少一个监视光电检测器耦合，其中，所述控制器被构造为基于由所述至少一个监视光电检测器接收的所述反射光信号来控制所述至少一个光发生器的操作。

11.根据权利要求10所述的系统，其中，所述控制器被构造为如果由所述至少一个监视光电检测器接收的所述反射光信号的特征偏离所述特征的预定值，则终止所述至少一个光发生器的操作。

12.根据权利要求10所述的系统，其中，所述至少一个光发生器包括至少一个垂直腔表面发射激光器(VCSEL)。

13.根据权利要求12所述的系统，其中，所述至少一个光发生器包括VCSEL的阵列。

14.根据权利要求13所述的系统，其中，电力系统单独地与每个所述VCSEL耦合，并且所述控制器被构造为单独地控制每个所述VCSEL的操作。

15.根据权利要求13所述的系统，其中，所述光源包括至少两个监视光电检测器，电源系统单独地与每个所述监视光电检测器耦合，并且所述控制器被构造为单独地控制每个所述监视光电检测器的操作。

16.根据权利要求10所述的系统，其中，响应于基于由所述至少一个监视光电检测器接收到的所述反射光信号确定所述光源运行不正确，所述控制器被构造为自动终止所述光源的操作。