[发明专利]晶圆舟操作装置、立式分批炉和方法

说明书

晶圆舟操作装置，配置成定位在立式分批炉的处理室下方，且包括可旋转台，该可旋转台包括第一和第二晶圆舟支承表面。每个晶圆舟支承表面配置成支承晶圆舟。可旋转台可通过致动器旋转以将第一和第二晶圆支承表面两者旋转至：装载/接收位置，其中，晶圆舟操作装置配置成将晶圆舟从可旋转台竖直地装载到处理室中并且将晶圆舟从处理室接收到可旋转台上；冷却位置，其中，晶圆舟操作装置配置成冷却晶圆舟；以及转移位置，用于将晶圆移至和/或移离晶圆舟。

技术领域

本公开总体上涉及一种晶圆舟操作装置。晶圆舟操作装置可配置成定位在立式分批炉的处理室下方。本公开还涉及一种包括所述晶圆舟操作装置的立式分批炉组件。本公开还涉及一种用于操作晶圆舟的方法。

背景技术

晶圆舟操作装置可定位在立式分批炉的处理室下方。晶圆舟操作装置可为立式分批炉的一部分，并且可配置成：将晶圆舟竖直地运输到所述分批炉的处理室以及从处理室接收晶圆舟。从立式分批炉接收的晶圆舟可能是热的，并且可先被冷却下来，然后才能将经处理的晶圆从晶圆舟中取出。晶圆舟操作装置可用于将晶圆移至和移离该装置之间、特别是移至和移离容纳在其中的晶圆舟。晶圆舟操作装置的一些功能可由运输晶圆舟的晶圆舟转盘(carousel)来实现。

发明内容

提供该发明内容部分是为了以简化的形式引入一些构思。在下文对本公开的示例性实施例的详细描述中将更详细地描述这些构思。该发明内容部分不意于明确所要求保护的主题的关键特征或必要特征，也不意于用作限制所要求保护的主题的范围。

一个目的可能在于，提供一种改进的晶圆舟操作装置。

为此，本公开提供了一种根据权利要求1所述的晶圆舟操作装置。更具体地，该晶圆舟操作装置可配置成定位在立式分批炉的处理室下方。晶圆舟操作装置包括仅具有第一晶圆舟支承表面和第二晶圆舟支承表面的可旋转台。每个晶圆舟支承表面可配置成支承晶圆舟。可旋转台可绕大致竖直的中心轴线旋转，并且可通过致动器被旋转，以将第一晶圆支承表面和第二晶圆支承表面两者都旋转至装载/接收位置、冷却位置和转移位置。在装载/接收位置，晶圆舟操作装置可配置成将晶圆舟从可旋转台竖直地装载到处理室中，并且将晶圆舟从处理室接收到可旋转台上。在冷却位置，晶圆舟操作装置可配置成冷却晶圆舟。在转移位置，晶圆舟操作装置可配置成允许晶圆被转移至晶圆舟和/或从晶圆舟被转移。

处理、冷却和转移所需的时间可能不相等。当冷却是快速的并且转移高效地完成时，可在处理处理室中的晶圆所需的时间内执行这两项动作。因此，晶圆舟操作装置可仅包括两个晶圆舟支承表面，这两个晶圆舟支承表面可被转移至三个旋转位置，具体是装载/接收位置、冷却位置和转移位置。

仅具有两个晶圆舟支承表面的优点在于，与具有三个晶圆舟支承表面相比，可旋转台可制作得更小。通过每个晶圆舟支承表面都可被带入其中的这三个旋转位置，晶圆舟冷却装置可执行所需的装载/接收、冷却和转移功能，同时可相对于在可旋转台上具有三个晶圆舟支承表面的已知的晶圆舟操作装置减小晶圆舟操作装置的直径。另外，制造晶圆舟操作装置的成本可小于带有三个晶圆舟支承表面的晶圆舟操作装置的成本。

本公开还涉及一种根据权利要求13所述的立式分批炉组件。更具体地，该立式分批炉组件包括用于处理容纳在晶圆舟中的晶圆的处理室和根据本公开的晶圆舟操作装置。晶圆舟操作装置可定位在处理室下方，并且可包括晶圆舟升降组件，该晶圆舟升降组件配置成将晶圆舟从晶圆舟操作装置转移至处理室，反之亦然。

立式分批炉可具有与以上关于晶圆舟操作装置所描述的优点相同的优点。