[发明专利]一种高纯铝靶材的焊接方法有效
| 申请号： | 202010392973.X | 申请日： | 2020-05-11 |
| 公开（公告）号： | CN111515484B | 公开（公告）日： | 2022-04-15 |
| 发明（设计）人： | 姚力军;潘杰;边逸军;王学泽;章丽娜 | 申请（专利权）人： | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
| 主分类号： | B23K1/00 | 分类号： | B23K1/00;B23K3/08;B23K103/10 |
| 代理公司： | 北京远智汇知识产权代理有限公司 11659 | 代理人： | 王岩 |
| 地址： | 315400 浙江省宁波市*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 铝靶材 焊接 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种高纯铝靶材的焊接方法，其特征在于，所述方法包括：将高纯铝靶材和背板进行钎焊接，焊接完成后进行冷却；
其中，所述高纯铝靶材的焊接面设置有凹槽；所述凹槽内设置有焊料槽；所述焊料槽的深度为0.15-0.35mm；所述焊料槽的直径比所述背板的直径小25-30mm；所述背板包括重复利用的背板；所述凹槽的直径比所述背板的直径大0.8-1mm；所述凹槽的深度为3-5mm；所述焊料槽表面的粗糙度Ra≤1.6μm；所述焊料设置于所述焊料槽及凹槽和背板之间的缝隙中；所述钎焊接中的焊接温度为270-290℃。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述钎焊接中的焊料为无铅焊锡。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述冷却的方式为加压水冷。
4.如权利要求3所述的方法，其特征在于，所述冷却的压力为0.4-0.5MPa。
5.如权利要求3或4所述的方法，其特征在于，所述加压的方式为气动加压。
6.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法包括：所述钎焊接中的焊料为无铅焊锡；所述冷却的方式为加压水冷；所述冷却的压力为0.4-0.5MPa；所述加压的方式为气动加压。
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