[发明专利]一种用于X射线聚焦镜拼接干涉检测的点云配准拼接方法

权利要求书

1.一种用于X射线聚焦镜拼接干涉检测的点云配准拼接方法，其特征在于，包括以下步骤：

步骤1：对被测柱面镜进行子孔径划分，确定每个子孔径的采样范围和各个子孔径间的大致重叠区域；

步骤2：用干涉仪获取被测镜各个子孔径的面形信息；

步骤3：根据子孔径预设的重叠区域，取一定的误差范围，枚举并计算误差范围内两个相邻子孔径重叠区域的残差；

步骤4：对残差进行平面拟合，计算拟合残差的均方根值，选择均方根值最小的情况为最佳点云配准情况；

步骤5：重复步骤3和步骤4，计算出所有相邻子孔径的最佳配准情况；

步骤6：利用配准的点云计算出刚体变换矩阵对子孔径进行位姿误差的补偿；

步骤7：对所有重叠区域的相位信息进行平均处理，完成面形拼接。

2.根据权利要求1所述的一种用于X射线聚焦镜拼接干涉检测的点云配准拼接方法，其特征在于，所述步骤1中子孔径划分方法如下：

步骤S11：根据柱面被测镜的曲率半径，在不违背奈奎斯特条件的基础上确定干涉仪每次所能检测的子孔径范围a·bmm²，以保证每个子孔径面形信息的检测精度，其中a为X方向即拼接检测方向的子孔径长度，b为Y方向的子孔径长度；

步骤S12：对被测镜的需检测区域进行子孔径划分，将被测区域划分为T+1个矩形子孔径，保证相邻的两个子孔径之间有25％以上的重叠区域；

步骤S13：根据干涉仪分辨率计算检测时采用的MASK大小m·n，m为MASK在Y方向像素点数，n为MASK在X方向的像素点数。

3.根据权利要求1所述的一种用于X射线聚焦镜拼接干涉检测的点云配准拼接方法，其特征在于，所述步骤2中子孔径的面形信息获取方法如下：

步骤S21：将被测镜的基准子孔径S₀置于干涉仪检测范围内，通过调整检测平台的倾斜俯仰使零条纹处于检测子孔径的中心位置，放置一段时间使平台稳定后，对S₀的面形信息进行采集；

步骤S22：通过平移台将被测镜的第二个子孔径S₁平移至检测区域，调整检测平台的倾斜使零条纹处于检测子孔径的中心位置，放置一段时间使平台稳定后，对S₁的面形信息进行采集；

步骤S23：重复步骤S22的子孔径面形信息获取过程，对剩下的子孔径{S₂,S₃,S₄,…S_T}的面形信息进行采集。