[发明专利]一种载台装置

权利要求书

1.一种载台装置，其特征在于，包括：载台，以及可转动地设置在所述载台上的承载板，在非工作状态下，所述承载板处于倾斜位置，在工作状态下，所述承载板处于水平位置。

2.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，所述载台包括主体部、承载部及传输通道，所述承载部内置于所述主体部、且一侧暴露于所述主体部的外表面，所述承载板设置于所述承载部上，所述传输通道设置于所述承载部正上方、且用于传输光罩至所述承载板上；

所述承载部具有第一表面及与第一表面邻接的第二表面，且所述第二表面与所述主体部的外表面邻接且在同一平面，所述主体部具有第三表面，所述第三表面环绕所述第一表面设置以围设形成所述传输通道。

3.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，所述主体部上设置有避让部，所述避让部的内壁上设置有至少一个弧形的滑轨，所述承载板包括可转动地设置在所述承载部上的固定端、以及远离所述固定端设置的自由端，所述自由端可滑动地设置在所述滑轨上。

4.根据权利要求2所述的载台装置，其特征在于，所述载台装置还包括：用于检测光罩的位置的传感器、以及用于驱动所述承载板转动的驱动器，当所述传感器检测到光罩靠近所述承载板时，所述驱动器驱动所述承载板处于水平位置，当所述传感器检测到光罩远离所述承载板时，所述驱动器驱动所述承载板处于倾斜位置。

5.根据权利要求4所述的载台装置，其特征在于，所述光电传感器设置在所述主体部上且位于所述传输通道中。

6.根据权利要求4所述的载台装置，其特征在于，所述载台装置还包括：设置在所述主体部上、且用于朝所述承载板吹气的气体供给器，所述气体供给器包括位于所述承载板上方且孔径方向为竖直向下的第一气孔结构、以及孔径方向为水平方向的第二气孔结构。

7.根据权利要求6所述的载台装置，其特征在于，所述第一气孔结构沿水平方向可伸缩设置。

8.根据权利要求6所述的载台装置，其特征在于，所述第一气孔结构喷出的气体压力大于所述第二气孔结构喷出的气体压力。

9.根据权利要求6所述的载台装置，其特征在于，所述第一气孔结构包括可转角的第一移动气孔，所述第一移动气孔的转角为10度至170度，所述第二气孔结构包括可转角的第二移动气孔，所述第二移动气孔的转角为0度至90度。

10.根据权利要求1所述的载台装置，其特征在于，所述倾斜位置与所述水平位置之间的夹角范围为30度至60度。