[发明专利]一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器有效
| 申请号： | 202010385837.8 | 申请日： | 2020-05-09 |
| 公开（公告）号： | CN111430857B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 吴倩楠;韩路路;李孟委;王姗姗;范丽娜 | 申请（专利权）人： | 中北大学;中北大学南通智能光机电研究院 |
| 主分类号： | H01P1/203 | 分类号： | H01P1/203 |
| 代理公司： | 太原荣信德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 14119 | 代理人： | 杨凯;连慧敏 |
| 地址： | 030051 山*** | 国省代码： | 山西;14 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 射频 mems 开关 可调 滤波器 | ||
1.一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器，其特征在于：包括衬底(1)、设于衬底(1)背面的接地层(7)、设于衬底(1)正面的输入谐振器(3-1)和输出谐振器(3-2)、设于输入谐振器(3-2)和输出谐振器(3-2)之间的谐振器组；
所述输入谐振器(3-1)和输出谐振器(3-2)均通过一个直线型传输线(3-3)、L型高阻抗传输线(3-4)、第一接地端子(5)组成，所述直线型传输线(3-3)与L型高阻抗传输线(3-4)相连接，所述L型高阻抗传输线(3-4)通过电容耦合的方式与第一接地端子(5)相连接；
所述谐振器组包括两个左右镜像设置的T型可调谐振器，所述T型可调谐振器包括T型谐振器(4)、多个射频MEMS开关(2)、多个第二接地端子(6)，所述射频MEMS开关(2)至少有两个，所述第二接地端子(6)与射频MEMS开关(2)的个数相同，所述T型谐振器(4)通过多个射频MEMS开关(2)分别与对应的第二接地端子(6)连接；
所述第一接地端子(5)、第二接地端子(6)均通过TSV通孔(8)与衬底(1)背面的接地层(7)相连；
所述射频MEMS开关(2)包括锚点(2-1)、触点(2-2)、悬臂梁(2-3)，所述悬臂梁(2-3)的一端通过锚点(2-1)固定在第二接地端子(6)上，所述触点(2-2)固定在T型谐振器(4)上，所述悬臂梁(2-3)的另一端悬在触点(2-2)的正上方，所述悬臂梁(2-3)的正下方设置有驱动电极(2-4)，所述驱动电极(2-4)连接有驱动引线(2-7)，所述驱动电极(2-4)面向悬臂梁(2-3)的一面设置有一层介质层(2-5)。
2.根据权利要求1所述的一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器，其特征在于：所述T型谐振器(4)远离射频MEMS开关(2)的一端采用弯折结构，所述T型谐振器(4)远离射频MEMS开关(2)的一端通过TSV通孔(8)与衬底(1)背面的接地层(7)相连。
3.根据权利要求1所述的一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器，其特征在于：所述悬臂梁(2-3)上设置有释放孔(2-6)阵列，所述释放孔(2-6)阵列为1-8排、1-10列，所述释放孔(2-6)的直径为8-15μm，两个相邻释放孔(2-6)之间的距离为15-25μm。
4.根据权利要求1所述的一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器，其特征在于：所述介质层(2-5)采用氮化硅或氧化铪。
5.根据权利要求1所述的一种基于射频MEMS开关的T型可调滤波器，其特征在于：所述TSV通孔(8)的直径为100-400μm。
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