[发明专利]一种复合导引板结构和基于该结构的装针设备及装针方法

权利要求书

1.一种复合导引板结构，包括顶层导引板（1）、中层导引板（2）、底层导引板（3）和间隔板（4），所述顶层导引板（1）、中层导引板（2）和底层导引板（3）表面均具有容纳探针的装针孔，所述装针孔的孔径大小在X、Y方向上均大于探针X、Y方向截面尺寸；所述底层导引板（3）表面探针孔分布与被测试芯片的针脚或/和焊盘分布一致；所述顶层导引板（1）和底层导引板（3）大小及形状相同，四角分别分布多个对齐的顶层导引板固定孔（11）和底层导引板固定孔（31）；所述间隔板（4）为金属框结构，大小与顶层导引板（1）和底层导引板（3）相同，四角具有与顶层导引板固定孔（11）和底层导引板固定孔（31）对齐的间隔板固定孔（41）；

其特征在于，

所述顶层导引板（1）、中层导引板（2）、底层导引板（3）上均设置有装针固定孔一（5）和装针固定孔二（6），所述装针固定孔一（5）对齐时，所述顶层导引板（1）、中层导引板（2）和底层导引板（3）的探针容纳孔一一对齐，装针固定孔二（6）错位，方便插针；所述装针固定孔二（6）对齐时，所述中层导引板（2）的探针容纳孔相对于顶层导引板（1）和底层导引板（3）的探针容纳孔产生错位，用于对探针进行限位；

所述间隔板（4）：

位于所述顶层导引板（1）和中层导引板（2）中间，用于将顶层导引板（1）与中层导引板（2）分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量；此时，中层导引板（2）和底层导引板（3）之间没有容置空间；

或

位于所述中层导引板（2）和底层导引板（3）中间，用于将中层导引板（2）与底层导引板（3）分隔开，形成容置空间，容纳探针测试过程中弯曲产生的变形量；此时，顶层导引板（1）和中层导引板（2）之间没有容置空间。

2.根据权利要求1所述的一种复合导引板结构，其特征在于，所述中层导引板（2）为四角分别切去一个区域的平板，大小在X、Y方向上分别有一边大于顶层导引板（1）和底层导引板（3），所述切去区域形状为方形、1/4圆或弧形。

3.根据权利要求1所述的一种复合导引板结构，其特征在于，所述底层导引板（3）表面探针容纳孔孔径大小大于待装载探针孔径4-10微米。

4.一种基于权利要求1-3之一所述的复合导引板结构的装针设备，其特征在于，包括底座（7）、操作台（8）、支撑机构（9）、运动机构（10）和装针机构；

所述支撑机构（9）包括导引板支撑机构（91）和探针支撑机构（92），

所述导引板支撑机构（91）包括支架（911）、滑块（912）、导轨（913）及止动螺丝（914），所述支架（911）与滑块（912）固定连接，设置于所述导轨（913）上方，所述导轨（913）分别固定于操作台（8）中心区域四周，所述止动螺丝（914）用于对支架（911）及滑块（912）位置进行限位；

所述探针支撑机构（92）包括Z向高精度位移台（921）、探针支撑板（922）及薄膜缓冲层（923），所述Z向高精度位移台（921）用于调整探针底部到底层导引板（3）的距离，所述探针支撑板（922）用于保证探针装配后的平面度，所述薄膜缓冲层（923）用于防止探针针尖磨损碰撞；

所述运动机构（10）包括三自由度高精密位移台（101）、连接杆（102）及末端夹具（103），所述三自由度高精密位移台（101）固定于操作台上，所述连接杆（102）一端与末端夹具（103）固定连接，另一端与三自由度高精密位移台（101）末端固定连接；

所述装针机构包括多轴运动手臂（111）及夹具末端（112）。

5.根据权利要求4所述的一种基于权利要求1-3之一所述的复合导引板结构的装针设备，其特征在于，所述支架（911）结构表面带有卡槽，用作复合导引板结构限位。