[发明专利]一种MEMS探针单转轴对称弯曲测试结构及其俯仰臂

权利要求书

1.一种MEMS探针单转轴对称弯曲测试结构，

其特征在于，

从上到下依次设置有第一主转轴（5-1），第一轴转接件（5-2），十字转接件（5-3），第二轴转接件（5-4）和第二主转轴（5-5），所述第一主转轴（5-1），第一轴转接件（5-2），十字转接件（5-3），第二轴转接件（5-4）和第二主转轴（5-5）关于十字转接件（5-3）上下对称；

所述第一轴转接件（5-2）包括第一平板（5-2-1）和第一斜板（5-2-2），所述第二轴转接件（5-4）包括第二平板（5-4-1）和第二斜板（5-4-2）；所述第一平板（5-2-1）与第一主转轴（5-1）同步旋转，第二平板（5-4-1）与第二主转轴（5-5）同步旋转，所述第一主转轴（5-1）和第二主转轴（5-5）同轴同步旋转，所述第一斜板（5-2-2）与十字转接件（5-3）的上端万向轴连接，所述第二斜板（5-4-2）与十字转接件（5-3）的下端万向轴连接；

十字转接件（5-3）的左端同轴安装有能够旋转的左俯仰臂（5-6），十字转接件（5-3）的右端同轴安装有能够旋转的右俯仰臂（5-7）；所述左俯仰臂（5-6）和右俯仰臂（5-7）的外端部均转轴安装有提拉杆（5-8），所述提拉杆（5-8）的下端部均连接在升降结构（5-9）的顶端；所述升降结构（5-9）限定只能上下运动；

所述左俯仰臂（5-6）包括转轴连接于十字转接件（5-3）左端的左支臂（5-6-1），垂直连接于左支臂（5-6-1）且位于水平方向的左横臂（5-6-2），垂直连接于左横臂（5-6-2）且与左支臂（5-6-1）平行的左连接臂（5-6-3），所述左连接臂（5-6-3）与左横臂（5-6-2）之间能够拆卸更换，左连接臂（5-6-3）的数量为多个，长短能够调整，每个左连接臂（5-6-3）均转轴连接一个提拉杆（5-8），每个提拉杆（5-8）的下端部均连接有一个升降结构（5-9）；

所述右俯仰臂（5-7）包括转轴连接于十字转接件（5-3）右端的右支臂（5-7-1），垂直连接于右支臂（5-7-1）且位于水平方向的右横臂（5-7-2），垂直连接于右横臂（5-7-2）且与右支臂（5-7-1）平行的右连接臂（5-7-3），所述右连接臂（5-7-3）与右横臂（5-7-2）之间能够拆卸更换，右连接臂（5-7-3）的数量为多个，长短能够调整，每个右连接臂（5-7-3）均转轴连接一个提拉杆（5-8），每个提拉杆（5-8）的下端部均连接有一个升降结构（5-9）；

所述左支臂（5-6-1）与右支臂（5-7-1）位于同一条直线上。

2.一种MEMS探针单转轴对称弯曲测试结构中的俯仰臂，其特征在于，包括左俯仰臂（5-6）和右俯仰臂（5-7）；

所述左俯仰臂（5-6）包括转轴连接于十字转接件（5-3）左端的左支臂（5-6-1），垂直连接于左支臂（5-6-1）且位于水平方向的左横臂（5-6-2），垂直连接于左横臂（5-6-2）且与左支臂（5-6-1）平行的左连接臂（5-6-3），所述左连接臂（5-6-3）与左横臂（5-6-2）之间能够拆卸更换，左连接臂（5-6-3）的数量为多个，长短能够调整，每个左连接臂（5-6-3）均转轴连接一个提拉杆（5-8），每个提拉杆（5-8）的下端部均连接有一个升降结构（5-9）；

所述右俯仰臂（5-7）包括转轴连接于十字转接件（5-3）右端的右支臂（5-7-1），垂直连接于右支臂（5-7-1）且位于水平方向的右横臂（5-7-2），垂直连接于右横臂（5-7-2）且与右支臂（5-7-1）平行的右连接臂（5-7-3），所述右连接臂（5-7-3）与右横臂（5-7-2）之间能够拆卸更换，右连接臂（5-7-3）的数量为多个，长短能够调整，每个右连接臂（5-7-3）均转轴连接一个提拉杆（5-8），每个提拉杆（5-8）的下端部均连接有一个升降结构（5-9）；

所述左支臂（5-6-1）与右支臂（5-7-1）位于同一条直线上。