[发明专利]一种多路激光合束清洗装置及其方法

权利要求书

1.一种多路激光合束清洗装置，其特征在于，包括壳体第一振境片、第二振境片、第一激光场境、第二激光场境、第一电机和第二电机，壳体的两相外侧的相对位置分别设有第一电机和第二电机；第一振镜片设置于第一电机的输出轴上，且第一振镜片位于壳体内；第二振镜片设置于第二电机的输出轴上，第二振镜片位于壳体内；壳体上设有第一通光孔和第二通光孔，第一通光孔用于第一清洗光束通过并照射到第一振镜片上，第一振镜片将清第一洗光束反射到第一激光场境，第一激光场境将第一清洗光束聚焦形成用于待清洗件清洗的一路扫描清洗光速路径；第二通光孔用于第二清洗光束通过并照射到第二振镜片上，第二振镜片将清第二洗光束反射到第二激光场境，第二激光场境件将第二清洗光束聚焦形成用于待清洗件清洗的另一路扫描清洗光束路径。

2.根据权利要求1所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，第一电机带动第一振镜片往复摆动，第二电机带动第二振镜片往复摆动，第一电机带动第一振镜片和第二电机带动第二振镜片的摆动方向始终相反。

3.根据权利要求2所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，第一电机带动第一振镜片往复摆动角度为±15°，第二电机带动第二振镜片往复摆动角度为±15°。

4.根据权利要求3所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，第一振镜片和第二振镜片上镀有全反射膜，且全反射膜的反射波长与清洗光束一致。

5.根据权利要求4所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，第一电机和第二电机选用伺服电机。

6.根据权利要求3所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，包括激光发生器，激光发生器的激光输出端与壳体的通光孔正对设置，激光发生器用于产生清洗光束。

7.根据权利要求1-6任意一项中所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，包括控制器，用于控制激光发生器的清洗光束的产生，用于控制第一电机和第二电机往复转动，调整所述第一振镜片和第二振镜片的摆动角度。

8.根据权利要求7所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，包括报警器，所述报警器的控制端与所述控制器连接，用于根据所述控制器的判断结构，进行报警。

9.一种多路激光合束清洗方法，包括如权利要求1-8任一项中所述的多路激光合束清洗装置，其特征在于，包括以下步骤：

将所述多路激光清洗合束装置安装在扫描工作平台上，扫描工作台能够带动待清洗物体垂直激光扫描方向往复运动；

启动多路激光清洗合束装置，通过控制器控制第一电机和第二电机带动分别带动第一激光场镜和第二激光场镜沿相反方向摆动，形成两路交叉叠加的激光清洗路径，第一清洗光束沿第一方向往复扫描，第二清洗光束沿第二方向往复扫描；两路清洗光束交叉叠加清洗所述待清洗物体表面。