[发明专利]减压干燥装置和溶剂收集部件的制造方法

权利要求书

1.一种使基片上的溶液在减压状态下干燥的减压干燥装置，其特征在于，包括：

用于收纳所述基片的容器；

设置在所述容器内的用于载置所述基片的载置台；和

溶剂收集部件，其以与载置在所述载置台上的所述基片相对的方式设置在所述容器内，用于暂时收集从该基片气化了的所述溶液中的溶剂，

所述溶剂收集部件具有多个溶剂收集单元部件，该溶剂收集单元部件具有多个开口且形成为平板状，

所述溶剂收集部件通过使所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此接合而构成。

2.如权利要求1减压干燥装置，其特征在于：

所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此的接合是通过激光焊接进行的。

3.如权利要求2减压干燥装置，其特征在于：

所述溶剂收集单元部件的所述侧端的接合余量为0.15mm以上1mm以下。

4.如权利要求1减压干燥装置，其特征在于：

所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此的接合是通过点焊进行的。

5.如权利要求4减压干燥装置，其特征在于：

彼此相邻的所述溶剂收集单元部件中的一者的所述侧端的上表面与另一者的所述侧端的下表面焊接在一起。

6.如权利要求1减压干燥装置，其特征在于：

所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此的接合是使用接合部件来进行的。

7.如权利要求1～6中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述溶剂收集单元部件的所述侧端的接合余量在所述溶剂收集部件的面内不同。

8.如权利要求1～6中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：

所述多个溶剂收集单元部件各自的每单位面积的热容相互不同。

9.如权利要求1～6中任一项所述的减压干燥装置，其特征在于：

包括用于固定所述溶剂收集部件的框体，

所述溶剂收集部件以所述框体不位于与所述基片相对的区域的方式被支承。

10.一种溶剂收集部件的制造方法，所述溶剂收集部件用于暂时收集从基片上的溶液气化了的该溶液中的溶剂，所述制造方法的特征在于，包括：

在多个板材分别形成多个开口，从而形成多个溶剂收集单元部件的步骤；和

使所述多个溶剂收集单元部件各自的俯视时的侧端彼此接合，以使所述多个溶剂收集单元部件连结在一起的步骤。