[发明专利]银白色涂层及其制备方法在审
申请号: | 202010372176.5 | 申请日: | 2020-05-06 |
公开(公告)号: | CN113621914A | 公开(公告)日: | 2021-11-09 |
发明(设计)人: | 蔡明 | 申请(专利权)人: | 华为机器有限公司 |
主分类号: | C23C14/06 | 分类号: | C23C14/06;C23C14/02;C23C14/35;H05K5/04 |
代理公司: | 北京龙双利达知识产权代理有限公司 11329 | 代理人: | 王龙华;王君 |
地址: | 523808 广东省东*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 银白色 涂层 及其 制备 方法 | ||
1.一种银白色涂层,其特征在于,包括:
表面层,所述表面层包括银白色的主体金属、第一氮化物和第二氮化物,所述第一氮化物为所述主体金属的氮化物,所述第二氮化物的硬度大于所述第一氮化物的硬度;
打底层,所述打底层为所述表面层与基材之间的膜层。
2.根据权利要求1所述的涂层,其特征在于,所述打底层为金属膜层。
3.根据权利要求2所述的涂层,其特征在于,所述打底层中的金属为所述主体金属。
4.根据权利要求1或2所述的涂层,其特征在于,所述涂层设置于基材上,所述基材包括金属基材和/或无机非金属基材。
5.根据权利要求4所述的涂层,其特征在于,所述基材为金属基材时,所述打底层中的金属为所述基材中的金属。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的涂层,其特征在于,所述表面层和所述打底层之间还包括一个或多个中间层,所述中间层用于连接所述打底层和所述表面层。
7.根据权利要求1至6中任一项所述的涂层,其特征在于,所述主体金属为铬、钛、锆中的任一种或多种。
8.根据权利要求1至7中任一项所述的涂层,其特征在于,所述第二氮化物为钨的氮化物和/或硅的氮化物。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的涂层,其特征在于,所述第一氮化物的质量百分数小于15%。
10.根据权利要求1至9中任一项所述的涂层,其特征在于,所述第二氮化物的质量百分数小于10%。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的涂层,其特征在于,所述表面层还包括一种或多种氧化物。
12.根据权利要求1至11中任一项所述的涂层,其特征在于,所述表面层还包括一种或多种碳化物,所述碳化物中碳元素的质量百分数小于1%。
13.根据权利要求1至12中任一项所述的涂层,其特征在于,所述表面层还包括第三氮化物和/或第四氮化物,所述第三氮化物为所述第一氮化物中的金属元素和所述第二氮化物中的金属元素形成的第一合金的氮化物,所述第四氮化物为所述第一氮化物中的金属元素和所述第二氮化物中的金属元素形成的第二合金的氮化物,所述第一合金中的金属元素比例与所述第二合金中的金属元素比例不同。
14.根据权利要求1至13中任一项所述的涂层,其特征在于,所述表面层中氮元素的质量百分数小于10%。
15.根据权利要求1至14中任一项所述的涂层,其特征在于,所述第一氮化物和所述第二氮化物的维氏硬度大于1500HV。
16.一种制备银白色涂层的方法,其特征在于,包括:
在基材上沉积打底层,所述打底层为表面层与基材之间的膜层;
在所述打底层上沉积表面层,所述表面层包括银白色的主体金属、第一氮化物和第二氮化物,所述第一氮化物为所述主体金属的氮化物,所述第二氮化物的硬度大于所述第一氮化物的硬度。
17.根据权利要求16所述的方法,其特征在于,所述打底层为金属膜层。
18.根据权利要求17所述的方法,其特征在于,所述打底层中的金属为所述主体金属。
19.根据权利要求16或17所述的方法,其特征在于,所述涂层设置于基材上,所述基材包括金属基材和/或无机非金属基材。
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