[发明专利]脉冲激光振荡器及脉冲激光输出方法

权利要求书

1.一种脉冲激光振荡器，其具备一对放电电极，所述一对放电电极彼此隔着间隔配置，且其在填充有包含二氧化碳及氦的激光气体的腔室内产生放电，所述脉冲激光振荡器的特征在于，

设定所述激光气体的压力、所述激光气体中的氦气的浓度及所述一对放电电极的间隔，以便满足激光输出为370W以上的第1条件、所输出的各个激光脉冲波形的除了尾部以外的部分的面积相对于激光脉冲波形的面积的比例为90％以上的第2条件及标准偏差相对于多个激光脉冲的脉冲能量的平均值的比例为3％以下的第3条件。

2.根据权利要求1所述的脉冲激光振荡器，其特征在于，

在将所述激光气体的压力标记为x(torr)且将所述激光气体中的氦气的体积浓度标记为y(％)的情况下，所述激光气体的压力x及氦气的体积浓度y满足0.042x+58.6≤y≤0.132x+28.6。

3.根据权利要求1或2所述的脉冲激光振荡器，其特征在于，

所述激光脉冲波形的所述尾部是从停止向所述一对放电电极供给电力的时刻起经过了与从所述激光脉冲波形的上升时刻到停止向所述一对放电电极供给电力的时刻为止的经过时间相等的时间的时刻以后的部分。

4.一种脉冲激光输出方法，向具备彼此隔着间隔配置的一对放电电极的脉冲激光振荡器的腔室内填充包含二氧化碳及氦的激光气体，

通过向所述一对放电电极施加电压而在所述一对放电电极之间产生放电来输出脉冲激光束，所述脉冲激光输出方法的特征在于，

设定填充于所述腔室内的所述激光气体的压力、所述激光气体中的氦气的浓度及所述一对放电电极的间隔，以便满足激光输出为370W以上的第1条件、所输出的各个激光脉冲波形的除了尾部以外的部分的面积相对于激光脉冲波形的面积的比例为90％以上的第2条件及标准偏差相对于多个激光脉冲的脉冲能量的平均值的比例为3％以下的第3条件。