[发明专利]一种气浮轴承装置及光刻设备

说明书

本发明公开了一种气浮轴承装置及光刻设备，其属于光刻技术领域，气浮轴承装置包括轴承本体和预载磁铁，轴承本体具有多个气浮面和中部区域，多个所述气浮面关于所述中部区域对称分布且与所述中部区域之间间隔设置形成缝隙；预载磁铁设于所述中部区域上。预载磁铁与气浮面之间的连接断开，在磁预载时，预载磁铁受到预载力，使得预载力不会直接传递至气浮面上，减少磁预载对气浮面的变形影响。光刻设备包括上述气浮轴承装置。由于预载力不会直接传递至气浮面上，减少磁预载对气浮面的变形影响，使得光刻设备的可靠性提高，加工精度较高。

技术领域

本发明涉及光刻技术领域，尤其涉及一种气浮轴承装置及光刻设备。

背景技术

气浮轴承是利用空气作为润滑剂的滑动轴承。正常工作时，轴和轴承表面完全由气膜所隔开，凭借气膜中压力的变化来支承轴和外力负荷。为了使得气浮轴承获得较大的刚度，一般需要较大的载荷或者预载，特别是对于侧向气浮轴承，只能使用额外的预载。常用的预载方法有真空预载和磁预载，真空预载的使用条件比较苛刻，而且预载力相对不大，一般使用磁预载对气浮轴承进行加载。

气浮轴承的磁预载，如图1所示，预载磁铁101粘接在轴承10上，背铁201粘接在导轨20上，通过预载磁铁101和背铁201之间的吸附作用为气浮轴承提供额外的预载力。如果预载磁铁101的吸引力非常大时，由于变形的连续性准则可知，预载处附近的变形会传递到轴承10的气浮面附近，这样的变形传递会严重影响气浮轴承的气膜厚度，严重的可能会导致轴承10和导轨20剐蹭。

气浮轴承技术在光刻机运动台中使用较为广泛，光刻机对加工精度要求较高，如果气浮轴承的气浮面变形，会导致光刻机的可靠性降低，影响加工精度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种气浮轴承装置及光刻设备，以解决现有技术中存在的气浮轴承在磁预载时气浮面易变形的技术问题。

如上构思，本发明所采用的技术方案是：

一种气浮轴承装置，包括：

轴承本体，具有多个气浮面和中部区域，多个所述气浮面关于所述中部区域对称分布，且与所述中部区域之间间隔设置形成缝隙；

预载磁铁，设于所述中部区域上。

其中，所述气浮面设置于悬臂的末端，所述悬臂的根部与所述中部区域连接，所述悬臂的延伸部与所述中部区域之间形成所述缝隙。

其中，所述悬臂的截面积自所述末端向所述根部减小。

其中，所述悬臂为轴对称结构，所述气浮面的几何中心位于所述悬臂的对称轴上。

其中，在所述悬臂靠近所述中部区域的连接处沿平行于所述气浮面的方向开设有镂空孔，所述镂空孔沿远离所述气浮面方向的宽度逐渐增大。

其中，所述气浮面设置有两个，两个所述悬臂于所述中部区域的两侧对称分布。

其中，还包括限位连接件，两个所述悬臂之间通过所述限位连接件连接，所述限位连接件与所述中部区域之间设置有间隙。

其中，所述限位连接件为贯穿两个所述悬臂的限位轴。

其中，多个所述气浮面绕所述中部区域的周向呈环形设置。

一种光刻设备，包括如上所述的气浮轴承装置。

本发明的有益效果：

本发明提出的气浮轴承装置，由于将中部区域与气浮面之间间隔设置形成缝隙，使得预载磁铁与气浮面之间的连接断开，在磁预载时，预载磁铁受到预载力，预载力不会直接传递至气浮面上，减少磁预载对气浮面的变形影响。

附图说明

图1是现有的气浮轴承的示意图；